近赤外線ヒーター（ヒートビームシリーズ）

PRハロゲンランプヒーターより放射される光（近赤外線）を照射し、高温・急速…

近赤外線ヒーター　ヒートビームシリーズは、特殊高効率ハロゲンランプから照射される近赤外線を利用し、ライン状やスポット状または、面状の熱源が得られるヒーターユニットです。 反射鏡は特殊金メッキを施し、熱効率が高くコンパクトな設計。 熱源にはハロゲンランプを使用する事により、最大1200℃までの加熱と2mm～3mm程度の集光が可能です。 ハロゲンランプから照射される輻射熱を利用しているので、非接...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイベック

エアベアリング ステージ

PRエアステージLBTシリーズ

エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50ｍｍ～500ｍｍ エンコーダは用途により1um～0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

メーカー・取り扱い企業： TOYO ROBOTICS株式会社

剥離帯電防止コーティング　NF-685B／685／718ECB

剥離による静電気帯電を長期にわたり抑制！しかもガラス基板をやさしく保護…

ッソ工業の「剥離帯電防止コーティング」は、アルマイトなど従来のステージ表面処理に比較して大幅に剥離帯電発生量を抑止することができ、しかも非常に長寿命です。 また、いち早く大型ステージにも対応するクリーンルーム内施工を実現。 更に長年の経験と実績に培われた独自の施工技術の確立により「高品質」「高精度」「大型」ステージにも対応し、FPD製造工程の歩留まり向上に貢献します。 【特徴】 ○静電...

メーカー・取り扱い企業： 日本フッソ工業株式会社