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PR少量ウェーハに対応!研究・テスト用途に便利なウェーハ販売サービス! ハ…
【取扱商品】 *CZ・FZ・拡散ウェーハ・SiC・SOI・EPI・GaAs・SiGe・GaSb・サファイア・ゲルマニウムなど様々な半導体用ウェーハを扱っております。 *プライム・テスト・モニター用ベアウェーハ(高精度ウェーハ・パーティクルチェック用・COP対策品等) *SOIウェーハ:高抵抗デバイス層、基板も対応可、ウェーハを支給していただきSOIウェーハへ加工することも可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エナテック 東京本社
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【内部流路】拡散接合【セラミックス・石英ガラス・純モリブデン】
PR拡散接合により、内部に流路を有する複雑形状が実現可能!石英ガラス、純モ…
拡散接合は材料同士を直接接合させる技術です。 接着剤、ロウ材を使用しないため、不純物による汚染問題が起きません。 また、塑性変形の発生を抑えることもできます。 拡散接合を用いることで、通常の切削加工では実現できない中空構造や、内部流路、真直度の良い深穴を形成可能です。 ヘリウムリークテスターを保有しておりますので、リークテストの実施も可能です。 【拡散接合実績材質】 ・アルミナ ・窒化アルミ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社トップ精工
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【事例】シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用
要求される鏡面を簡単にクリアー!ファインバブルを使用して解決した事例
シリコンウエハーの超超鏡面研磨加工にファインバブルを使用した事例を ご紹介します。 数種類の対策をしたが要求される超超鏡面ができず、研削液配管途中に OKノズルを設置。ファインバブルを使用して解決しました。 また、ファインバブルの破裂の衝撃によって砥石の切り刃が常に確保され、 研削キリコが洗浄され必要面粗度が得られました。 【事例概要】 ■課題:数種類の対策をしたが要求される超...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社OKエンジニアリング
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洗浄できている面積割合が、92%に到達することを明らかにした事例のご紹…
シリコンウエハー洗浄のメカニズムに関する事例をご紹介します。 ウルトラファインバブルの内部が高圧になる特性を利用して、 圧力波により固体表面の微粒子を除去する効果を実験的に検証。 1ミクロン以上の微粒子が除去され観察されなくなったこと、また、 洗浄できている面積割合が、92%に到達することを明らかにしました。 【洗浄効果】 ■洗浄前:359~472um2 ■超純水洗浄後:320...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社OKエンジニアリング
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シリコンウエハーの鏡面研磨や小型金型研磨時間短縮などの応用事例をご紹介…
昨年から工作機械へのファインバブルの利用問合せが増えて来ました。 効果が顕著なのはアルミ加工と研削加工です。 「アルミ構成刃先剥離効果」をはじめ、「クーラントタンクの清掃」や 「シリコンウエハーの鏡面研磨」「潤滑油の浮上分離」などに応用可能。 ご依頼・ご質問・お見積りなどお気軽にご相談ください。 【応用事例】 ■アルミ構成刃先剥離効果 ■クーラントタンクの清掃 ...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社OKエンジニアリング
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