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PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…
◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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0~20 sccm/minの微小から0~500slm/minの大流量レ…
マクミラン社のマスフローメータ50シリーズは、クリーンでドライな気体を0~20sccm/minのような小さい流量から0~500sLm/minのような大きな流量まで、計測精度±1.5%FSで14種類の計測レンジでカバーしています。流量検知センサは、サーマルマス...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現
立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動…
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