ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

超低湿度用防湿庫『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』

PR新型デジコンと高精度湿度センサー採用！ドライユニット内の特殊乾燥剤は半…

『ドライ・キャビ HYP2シリーズ』は、新型デジコンにより庫内の湿度を 正確にコントロールできる超低湿度用防湿庫です。 高精度湿度センサーの採用により正確に表示することが難しかった5％RH以下の 湿度を正確に表示。超高速除湿のHYP・DUSに湿度設定と自動省エネの機能が 付いて高性能化しました。 使い易い全面ワイドドア（マグネットパッキン式）で、中央支柱がないので、 横長のもの...

メーカー・取り扱い企業： トーリ・ハン株式会社

ドライクリーナ　UVU-F型フラットパネル用超音波ドライクリーナ

ミクロの限界を超えた除塵能力

【特徴】 ○1.6μmの粉塵を100％除去可能 ○ドライ洗浄方式の為、水・薬液の交換不要 ○非接触式のため、ガラス基盤等の表面にスクラッチ、及び成膜への損傷不要 ○クローズドループシステム採用で、クリーンルーム内の層流を乱すことなく使用可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社伸興

パネルクリーナ　VUV-F型フラットパネル型ドライクリーナ

両面同時クリーニング可能でブロワーは、小型・省スペースで安価

【特徴】 ○ドライクリーナで3μmの粉塵を100％除去可能 ○エアーバランスがよいのでヘッドを対向させて両面同時クリーニングが可能 ○非接触式 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社伸興