従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

セラミックス部品

見積もりから納品までスピードを持って対応！研究開発目的や、設備導入前の…

当社は、高硬度と脆性を併せ持つ加工難度の高いセラミックスも、高度な 加工技術とノウハウで、受託加工をはじめとした各種製品のさまざまな ニーズにお応えします。 ドライCIPプレスを使っての委託成形や、アルミナを中心に様々な セラミックス部品の加工・製作が可能。 また、「セラミックスチューブ・保護管・絶縁管」や、「るつぼ・燃焼ボート・ タンマン管・ヒー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アドテックエンジニアリング