バルブ | イプロスものづくり

PR食品衛生法適合の高品質・高性能のワンタッチ継手流体の性質や使用温度…

当カタログでは、ドイツ・AVS Romer社製の高品質な継手製品群『AVSフィッティング』の特長や仕様を分かりやすく紹介しています。『AVSフィッティング』は欧州の食品機械内分野（特にコーヒーマシーンなど高温の流体を使用する機械）での採用実績が豊富です。 NSFやFDAの認証はもちろんのこと、日本の食品衛生法にも適合しています。ワンタッチ（プッシュ・イン）型、フェルレス型から...

メーカー・取り扱い企業：サンワ・エンタープライズ株式会社

粉体定量供給機『ロータリーバルブ』＜課題解決事例を進呈中＞

PR自社工場での一貫製作により高品質・短納期を実現。カスタム・フルオーダー…

当社では、粉粒体の定量供給と密閉遮断を担う『ロータリーバルブ』を提供しています。食品など高い衛生管理が求められる分野でも実績豊富。設計・製造から最終加工まで自社工場で一貫対応しているため、高品質・短納期を実現できます。課題解決事例を紹介した資料を進呈中。詳しくはダウンロードボタンよりご覧ください。【こんな課題を解決します】 ■機械の能力アップをしたいが、サ...

メーカー・取り扱い企業：尾崎ウェルスチール株式会社本社、機械加工工場、歌島工場、粉体工学研究所

Parker 計装用チェックバルブ

Cシリーズ逆止弁

パーカー C シリーズ逆止弁は、化学処理、オイルおよびガスの製造・搬送、製薬、パルプ・製紙、電力などの業界で、単一方向に流れる液体および気体の流量を制御するためのバルブです。...

メーカー・取り扱い企業：アマノ機工株式会社パーカーストア豊田店パーカーストア事業部

『事例』分解洗浄を可能としたダイヤフラムバルブ ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』半導体材料メーカー様　必見！分解洗浄を可能とした…

材料容器（キャニスター）に使用したバルブをクリーニングするが、内部に汚れが残ってしまう。 バルブが溶接されたキャニスターはバルブとキャニスターの両方を交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。シートとダイヤフラムが交...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

バルブ部門

半導体製造や貯蔵設備など！厳しい環境の中で高度の品質が要求される設備の…

西谷商事株式会社の『バルブ部門』をご紹介します。超低温の液体窒素、液体酸素を扱う宇宙開発関連設備やエレクトロニクスの半導体製造、液化天然ガスの貯蔵設備などに対応。いずれも厳しい環境の中で高度の品質が要求...

メーカー・取り扱い企業：西谷商事株式会社

『事例集』固体材料供給における高温化の課題への提案※無料進呈中

半導体材料メーカー様　必見！固体材料供給における高温化の課題への提案の…

250℃の供給プロセスでオールメタルバルブを使用しているが、耐久回数に不満がある。 200℃の供給プロセスでシート交換できないバルブを使用しているため、バルブを交換しなければならず、ランニングコストがかさんでしまう。 200℃対応のバ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

半導体真空バルブの世界市場の調査レポート YH Research

『無料サンプル』を入手可能！関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

2023年8月21日に、YHResearchは「グローバル半導体真空バルブのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、半導体真空バルブの世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別、地域別、国別に分類されます。売...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

真空バルブオーバーホールの流れ

真空装置周辺機器のオーバーホール・修理なら　お任せ下さい！

アングルバルブ、カットバルブ、振り子式バルブ、APCバルブ、大型ゲートバルブ、ゲートバルブ、UHVバルブ等...

メーカー・取り扱い企業：大宮工業株式会社近畿支店

精密流量コントロールバルブ

酸、有機系薬液などの定量吐出管理用の液体フローコントローラーです。高精…

in ○使用材料：薬液接触面　PTFE、PFA ○使用環境：最大供給圧 65psi　最大排背圧 30psi ○最高使用薬液温度：65℃ ○入力電圧：12－30VDC ○オプション：オートバルブ用コントローラー ●詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：ファーストゲート株式会社本社、大阪オフィス、笹目倉庫

半導体製造用ウルトラフローSC クイック・カップリング

半導体製造工程で使用される液冷システムに特化し開発されたステンレス・ス…

低圧力損失冷却効率の向上により関連機器の投資コストとランニングコストを低減 ■液だれ防止液だれによるクリーン環境汚濁を防止高い地球温暖化係数を持つ液体冷媒の漏出を防止 ■バルブ作動不全の漏れリスク低減長期接続後の分離の際に、Oリングがドライ状態になり潤滑性を失ったことによる、バルブが閉じず液漏れが発生するリスクを低減 ■エア混入量低減接続時に混入するエアに...

メーカー・取り扱い企業：セインジャパン株式会社

水量コントローラー「FCV」

流量センサとバルブの機能を一体化させ、冷却水等の水量をマイコンにより自…

■ マイコン制御による流体流量のコントロール。流量設定値に合わせて、バルブ開度を自動調節。 ■ ＬＣＤ/ＬＥＤ表示機能により、流量/設定値/制御状態を確認できる。 ■ 流量に対する警報設定が可能。 ■ 全閉入力により、バルブを全閉することが可能。 ■ ユーザー機...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リガルジョイント

SUS304 ゲートバルブ本体(半導体製造装置)【掘込加工】

ステンレス（SUS304）製ゲートバルブ本体、無垢材からの掘り込み品で…

無垢材からの掘込で加工を行いました。深さ160のポケット加工をする際、ツールのビレを軽減するため特殊エンドミルを採用し加工しております。側面にはアリ溝を施しました。外観を重要視されるためキズは厳禁の品となっております。...材質：SUS304 数量(ロット）：1 大きさ：80×180×340 公差レベル：0.05 表面粗さ：▽▽ 納期目安：1～1.5ヶ月 ◎三次元形状の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社今橋製作所

耐熱・耐薬品エアーバルブ（ふっ素樹脂PTFE製）

接液部は全てふっ素樹脂を使用していますので、耐薬品性、耐熱性に優れています。駆動部は硬質塩ビでカバーされていますので、雰囲気の良くない場所にも設置できます。（AV１型はヘッド部がアルマイト製）また、多くの企業様から、「もう数十年使っているけれど、かなり丈夫だから、安心して使えるよ。」など、多くのお声をいただいており、環境・コストの面でもお勧めできる製品です。...接液部は全てふっ素樹脂を使用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハルナ

【配管自動切換装置】ストレートタイプ

まだバルブで切換えてますか？ホースや配管切換作業の自動化を特許技術で実…

す！ ■導入メリット ◎人手での繋ぎ替えに比べて作業効率UP！ ◎防爆エリアでの着脱作業や、高温水や塩酸等の危険物の着脱作業が無くなり、作業員の方を危険作業から解放します！ ◎自動弁やバルブユニットと比べて、一筆書きでの切替が出来るため、廃液や食品ロス、洗浄液を削減でき、SDGsに貢献します！ ◎クロスコンタミが無くなります！　 ◎省スペース化できます！ ◎自動弁やバルブユニッ...

メーカー・取り扱い企業：ナブテスコサービス株式会社産業機械部　

薬液供給装置（キャニスタユニット）　P82

酸系2薬液、アルカリ系1薬液の原液コンテナを収納しＮ２による加圧圧送に…

ＣＭＰ装置の原液供給に使用されます。【特長】 ■ＰＴＦＥ製バルブを使用 ■排気用ダンパーを内蔵 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノメイト

高純度ライン用ダイヤフラムバルブ　『UCVシリーズ』

半導体製造装置およびその周辺配管で要求されるクリーン度に対応したウルト…

載されております。・3Lシリーズ（オールメタルシール）・2Lシリーズ（ソフトシール）・EVZSシリーズ（かしめシート）・2LEシリーズ（コンパクト型）用途、流体に合わせた仕様のバルブをお選びいただく事が可能です。耐圧：1Mpa、16MPa、21MPa 温度：250℃（オールメタルシール3LT） 2L、3Lシリーズではダブルメルト材ボディを使用しバルブからのパーティ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

半導体/液晶製造装置の各種ユニットのメンテナンスサービス

半導体製造装置メーカー150社以上の修理が可能！納期・品質保証に関して…

【その他の修理項目】＜機械系修理項目(抜粋)＞ ■ディスペンス・ポンプ ■スピン・モータ ■ゲート・バルブ ■スロットル・バルブ ■アングル・バルブ ■ディスペンス・チャンバー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：アル株式会社本社

高温ウエハ用非接触ピンセット

高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様のピンセット

ＣＶＤ装置による半導体ウエハのエピタキシャル成膜後のサセプター上の高温ウエハを、気体を噴出することにより非接触によりウエハを懸垂保持し搬送する「フロートチャック」に手動バルブの付いた取っ手を装着し、ピンセットのようにハンドルを持つ手によるバルブ操作により気体供給のＯＮ−ＯＦＦを行い、高温のサセプターからウエハを非接触にて取り出す耐熱仕様の「非接触ピンセット」。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

真空炉『Mini-BENCH-prism 超高温実験炉』

最高使用温度2000℃ セミオート制御超高温実験炉（カーボン炉、…

最高使用温度 Max2000℃ ◉PLCセミオートコントロール卓上型Mini-BENCHのセミオート制御式上位機種「真空引き」「ガス置換」「ベント」の各工程を自動制御（ガス流量→ニードルバルブにて手動調整） ◉作業中の安全を確保冷却水異常・チャンバー温度異常・過圧異常を監視SUS製堅牢な水冷チャンバー、最高温度で連続使用中でも安全にご使用いただけます。 ◉小型・省スペース ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

ベルヌーイピンセット（５０μm超薄ガラス用）

５０μm超薄ガラス・超薄ウエハを非接触にて搬送するピンセット

気体を噴出することにより非接触にてウエハを搬送するベルヌーイチャックにバルブの付いた取っ手を付け、ピンセットのように手操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触にて搬送する。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

マクミラン　小型薬液流量コントローラ　Ｕ８０３／Ｕ８０４

Ｕ８０３／Ｕ８０４シリーズは低粘度の液体用微小流量コントローラです。最…

粘度の液体用微小流量コントローラです。最小レンジは７〜５０ｍＬ／ｍｉｎから最大レンジは１００〜１０００ｍＬ／ｍｉｎまで５種類用意されています。ベルトン型のマイクロタービンホイール（特許）と比例制御バルブの組み合わせにより優れた再現性と長期にわたり正確な流量コントロールが可能となります。ウルトラクリーン用途に適応したデザインになっておりパーティクル発生がありません。継手接続はフレアー継手を採用リー...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社　ST事業部

継手緩み防止『ロックアシスト CVC-LCシリーズ』

当社独自の構造による確実な締結力！配管施工後でも脱着が可能な使いやすさ…

】 ■ボルト1本で締結する構造 ■配管施工後でも脱着が可能 ■リークテストポートへの干渉がない ■取付後でもリークテストが容易に行える ■取付方による継手の緩みは発生しない ■継手用とバルブ用をご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

oventrop「不凍液注入器」

ソーラーシステムや暖房システムの充填作業に最適！強力なポンプの注入器

E, ゴミフィルター付き ○吐出流量： 5-47 l/min ○吐出高さ： 42 m ○ポンプ出力： 1000W(230V~, 50 Hz) ○ポンプ圧力： 4.2 bar ○隔離ボールバルブ： G 1/4 ユニオンナット ○ドレンバルブ： G 1/2 ○媒体：水、水-グリコール混合液、ソーラーサーマルシステム用洗浄液 ○媒体温度： max. 65℃ ●詳しくはお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業：東西商事株式会社

シリンジポンプ式二液混合吐出装置

二液型接着剤の安定した吐出を実現！

【製品特徴】　〇　シリンジポンプによる安定した接着剤の供給が可能　〇　シンプルな構造によりメンテナンスが容易　〇　切り替えバルブにより樹脂の逆流を防止　〇　多彩なオプションによるシステムの拡張が可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ファスト

ジャケットヒーターシステム

PID制御でさらに温度均一性を保つ配管用ジャケットヒーター

半導体配管の最適化重要アイテム、ジャケットヒーターシステムです。配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター【特長】・200℃までの高温まで加熱可能・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫・コールドスポットがなく、温度均...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東京興業貿易商会本社

基板・フィルム用クリーンマシーン

非接触駆動を実現！除塵力変動を失くしたフィルムクリーンマシーン

した。 ●非接触駆動で、ギヤの摩擦・ロールユニットの出し入れによる発塵を予防。 ●ゴムロールの直接加圧方式にすることでテープの始まりから終わりまで　安定した除塵能力を発揮。 ●加圧調整バルブで、薄い基材も巻き込まずにクリーニングが可能。 ●除塵用ゴムロールには、標準シリコーンロールの他に帯電防止シリコーン、導電性ブチルロールの使用も可能。 ◆標準タイプ、多連式高性能タイプ、ロ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エム・エル・シー

第17回"超"モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」を受賞！

17年連続受賞！半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ…

づくり日本会議様と日刊工業新聞社様が実施されている、「産業・社会の発展に貢献する部品・部材を対象に選出している」賞です。 2020年第17回の"超"モノづくり部品大賞では、「高精度流量バルブ」が「機械・ロボット部品賞」を受賞いたしました。「高精度流量バルブ」は半導体製造プロセス用に当社が新しく開発したダイヤフラムバルブで、設置面積の大幅カットを実現できます。製...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

ミューコム　薄膜製造装置自動成長プログラム

自動成長プログラムによりバルブやマスフロー、温調計等を自動制御するシス…

真空制御、圧力制御、流量制御、温度制御やバルブ制御、各メカニカル駆動制御など、さまざまな制御装置に使われています。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ミューコム

フランジ・チューブシート加工機／ポータブル仕様の仕切弁研磨機

フランジ再加工に最適な加工機＆今までの1/10の時間で研磨できるグライ…

EFCO(エフコ)の『フェイサー　TDFシリーズ』と『グラインダー　HSLシリーズ』は、バルブ補修に欠かせない機器。一つ間違えると大事故につながりかねないプラントの保守に、大きな役割を担う製品です。 ■TDFシリーズ(フランジ面加工、管板の面加工などに最適) ┗用途やサイズに合わせ...

メーカー・取り扱い企業：独逸機械貿易株式会社

液晶ガラスの手動搬送に吸着ツール

。人による液晶製造装置への液晶ガラスの搬送に多数採用されています。この吸着ツールは、真空源（真空ポンプ、エジェクタ）が必要なく、民生の吸盤のように液晶ガラスを吸着搬送できます。原理は単純です。バルブを閉じることにより閉じ込められた空気が、膨張によって負圧を発生し吸着が行えます。 ...

メーカー・取り扱い企業：大谷技研株式会社

4層ベローズ

高耐圧と低いバネ定数を兼ねそろえた4層ベローズ、強度を保って抜群のやわ…

『4層ベローズ』は、高圧下で柔らかさ、超寿命が求められる、振動配管・真空振動乾燥機の振動吸収用ベローズです。高い使用圧力にも拘らずベローズの長さに制限があり、バネ定数に制約のある、バルブ・安全弁・メカニカルシール・ロータリージョイント等に適しています。板厚、層数、材質等色々な組み合わせで各種ご要望にお答えできます。【特長】 ■振動配管・真空振動乾燥機の振動吸...

メーカー・取り扱い企業：三元ラセン管工業株式会社

クイックコネクタ（カプラ）　『QC-LOKシリーズ』

計装用クイックコネクタ QC-LOKは、高機能、高強度のロック機構によ…

・用途に応じてOリングをお選びでき、様々なガス種に対応。　FKM（標準）、ブナＮ、EPDM、ポリクロロプレン、パーフルオロエラストマ・シングルエンドシャットオフ（SESO) ステム側にバルブ機構がなく、非連結状態では下流側が開放状態になります。・ダブルエンドシャットオフ（DESO)ステム側にバルブ機構があり、非連結状態で下流側が遮断状態になります。・オプションで完全禁油、酸素...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

多層ベローズ

一層山当りのバネ定数の違いで、従来品と同じ板厚でも驚きの柔らかさを発揮…

薄板を重ねて製作することで、板と板が中でスライドし合い、柔らかい伸縮性のあるベローズが成り立ちます。高圧下で、柔軟性や高寿命が求められる振動吸収や真空振動乾燥機に使用され、安全弁・バルブ・メカニカルシールなどにも多く使用されています。【特長】 ■柔らかく伸縮性がある ■薄板を重ねて製作 ■従来品と同じ板厚でも驚きの柔らかさ ■振動吸収や真空振動乾燥機に使用される ...

メーカー・取り扱い企業：三元ラセン管工業株式会社

乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

・排気ガス部材質は、処理対象ガス及び反応温度を考慮した材質を使用。・固定生成物が排気ガス中に混在している場合も、バグフィルターで除去が可能です。・排気ガス処理ラインにはフルボアタイプのバルブを使用し、装置内での　閉塞が起こりにくい構造となっています。・処理剤破過検知のほかに、装置内圧力・処理剤温度等を　常時モニタリングし、異常発生時に警報を発報します。（一部オプション）...

メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部

【会社案内】大型アルミの切削加工技術で実績多数！株式会社信和

蓄積した大型加工技術と最新の設備で高度な大型アルミ製品を保証します。半…

分野の精密機械部品を製作しております。複雑形状に対応する最新のマシンと加工プログラムにより同時5軸切削加工を実現。高精度の加工技術を駆使し、真空チャンバーやFPD製造装置の電極やゲートバルブなど、様々な真空装置関連製品や各種産業分野の精密加工部品の製造実績が多数ございます。お客様の要望事項を満足させる製品を実現させるために、各セクションで技術検討・製作・検査を行い、ご...

メーカー・取り扱い企業：株式会社信和

加工事例【半導体製造装置向け】大型チャンバー

複雑な形状の大型チャンバー製作実績多数！製作前にCAD・プログラム…

マシニングセンタや5軸マシニングセンタなど各種設備を駆使し、大物部品の製作・加工・メンテナンスをサポートします。上記の他、半導体製造装置の真空チャンバーや液晶製造装置の電極やゲートバルブにて製作実績が多数あります。また、航空機部品の製造に特化した認証：JIS Q 9100も取得済。材料調達・機械加工・表面処理・検査までワンストップでご対応しますので、調達の手間が大...

メーカー・取り扱い企業：株式会社信和

有限会社鶴丸産業事業紹介

研磨業を通じて、お客様の発展に寄与し、地域と共に豊かな未来を想像し続け…

研磨を行っている会社です。光学硝子部では、主にデジタル家電用に使用される光学ガラス基板の研磨加工を行っています。金属部では、SUS材を主体とした半導体製造装置等に使用されるバルブ・ツギテの内面・外面の超精密研磨を行っています。全工程が手作業であるため高度な技術が要求され、匠の技術を駆使し、研磨に取り組んでいます。【事業内容】 ■光学硝子平面研磨と金属...

メーカー・取り扱い企業：有限会社鶴丸産業

ファーストゲート株式会社　総合カタログ

輸入商社として半導体製造装置における技術革新を迅速に提供する

【掲載製品】 ■Futurestar社　フローメーター・Odysseyシリーズ・Pathfinderシリーズ・精密流量コントロールバルブ　Auto Value ■White Knight社　テフロン製薬液供給ポンプ・PXUシリーズ・PXHシリーズ・PXAシリーズ ■Malema社　フローコントローラー・流量コントロールモジ...

メーカー・取り扱い企業：ファーストゲート株式会社本社、大阪オフィス、笹目倉庫

ベルヌーイピンセット

空気供給on-offマニュアル操作によるウエハ非接触ピンセット

ウエハ、チップ、レンズ、太陽電池基板、ガラス基板をピンセットのようにハンドルに付いたバルブをマニュアル操作により空気供給のＯＮ−ＯＦＦを行い。ウエハ、チップ、レンズを非接触にてつかむ。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。

【基本仕様（抜粋）】 ○放電形態：直流マグネトロン ○放電制御：定電流 30mA ○圧力制御：ニードルバルブによる手動制御 ○プロセス時間：最大15min/タイマー制御 ○プロセスガス：Ar（導入圧力 0.1MPa以下） ○プロセスガス導入口：φ6mmワンタッチ継手（シンフレックスチューブ用） ...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

プログラマグルスパッタコーター　SC-701HMCII

Ni／Cr／Wなどに対応！ソフトウェア制御で高精度コントロールを実現

：DCスパッタ　マグネトロン型 ○スパッタリング電流／電圧：0～50ｍA／0～3ｋV（システム制御） ○チャンバーサイズ：160（φ）×160（D）ｍｍ（SUS製） ○ガス導入機構：ニードルバルブ（システム制御） ○排気装置：直結型ロータリーポンプ　100l/min（自動リーク付） ○装置電源：単相 AC100V　50/60Hz 10A ○寸法・重量・本体:360（W）/42...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

デスクトップクイックコーター「SC-701MkII」

SEM用試料の前処理用として最適！シリーズ最小のコンパクトコーターです…

2kV／0～9.9mA ○到達圧力：5Pa ○チャンバーサイズ：90(dia.)×90(depth)ｍｍ（SUS製） ○タイマー：0～15min（最長30min） ○ガス導入機構：ニードルバルブ　導入口径外径φ6mm　ワンタッチ継手 ○排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L／min（自動リーク付） ○設置電源：単相 AC100V±10％　50/60Hz　7A ○寸法・重量 →本...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

デスクトップ全自動コーター

走査電子顕微鏡用試料作製に最適！　試料作製の煩わしさを解消します。

式（デジタル表示膜厚モニター付） ○高圧電源：1kV／0～20mA ○到達圧力：10Pa ○チャンバーサイズ：120(dia.)×120(depth)ｍｍ（ステンレス製） ○ガス導入機構：ニードルバルブ ○排気装置：直結型ロータリーポンプ　20L／min（自動リーク付） ○設置電源：単相 AC100V±10％　50/60Hz　10A ○寸法・重量 →本体：225(W)×420(D)×320(H)...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

多機能スパッタリング装置【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート）基板回転・上下昇降（ステッピングモーター自動制御） APC自動制御：アップストリーム（MFC流量調整）又はダウンストリーム（排気側バルブ自動開度調整）寸法：1,120(W) x 800(D) ●プラズマエッチングはメインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれへも設置可能です。 ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着・P...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

極高真空用フッ素グリース『ロゲネストラムダZLVP』

極高真空下（10-8Pa以下）にてアウトガスが発生しにくいグリースで…

【用途】極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など • 半導体製造装置 • 有機EL・ソーラーパネル製造装置 • クリーンルーム内の製造装置...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニッペコ本社

真空炉『Mini-BENCH 超高温卓上型実験炉』

卓上小型サイズ実験炉・省スペース最高使用温度2000℃！還元雰囲…

◆装置構成◆ ご予算・目的に応じてご要望の構成をご提案致します。 (A)最小構成：チャンバー + コントロールボックス (B)上記最小構成(A) + 真空排気系（ポンプ、ゲージ、バルブ・真空配管類） ◆基本仕様◆ ・ヒーター：C/Cコンポジット(カーボン炉）, タングステン(メタル炉) ・断熱材：グラファイトフェルト材(カーボン炉）, タングステン/モリブデン(メタル...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

半導体製造装置の周辺機器の修理、改善サービス

高周波電源、搬送ロボットや、RFマッチングボックスなどを修理、改善、オ…

【その他の掲載内容】 ■輸送ロボットの修理 ■スリットバルブの修理 ■O3ジェネレーター修理 ■サーキュレータポンプの修理 ■マスフローコントローラの修理 ■ターボ分子ポンプの修理 ■サーキュレターポンプの修理 ■マスフローコントローラーの修理...

メーカー・取り扱い企業：アローズエンジニアリング株式会社