高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

【コラム】メタルマスクの研磨処理について

レーザー加工の次工程にあたる“表面研磨"！徹底解説いたします

当コラムでは、“メタルマスクの研磨処理について"をご紹介させて いただきます。 各マスクメーカー様同様かと思いますが、お客様のご要望に応えるため、 少ない工程の中にいろいろな仕様があり、様々な方法があり、多種多様な ノウハウが存在しているのです。 その中で今回は、レーザー加工の次工程にあたる“表面研磨"について お話させていただこうと思います。 【掲載内容】 ■表面研磨...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メイコーテクノ