高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

高性能メタルマスク超音波洗浄装置

強力・繊細・高速・メタルマスク超音波洗浄装置 　　　　　　　　　…

すます高密度化する基盤の需要に対応するためメタルマスクも、レーザーマスク,エッチングマスク,アディティブマスクの３種類とも　高微細加工、高密度化しております。そのため　従来のシャワー洗浄を主体にした洗浄では、厳しい洗浄レベルに　対応できなくなってきました。そこで、当社は、真空前処理型超音波洗浄装置MARSと、液晶APR版洗浄装置の　両者の豊富な経験に　基ずき、大手自動車部品メーカーデンソーの指導の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ブルー・スターＲ＆Ｄ 本社