アリ溝式ステージ『セルフロックステージ　SLXシリーズ』

PR特許取得のロック機構で止めた位置から微動しないステージ。ロングストロー…

バリエーション豊富で多彩な組み合わせができる「アリ溝式ステージ」に、 ロングストロークでストッパー不要の『SLXシリーズ』が加わりました。 位置調整後にステージをストップする特許取得のセルフロック機構を搭載。 手動ストッパーやクランプ操作による微動・位置ずれの心配がありません。 高い位置決め精度での加工・検査が求められる用途や、 位置調整後に長時間確実に固定したい用途で活躍します...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミラック光学

SLB スペースロックベアリングナット

PR面倒な舌付き座金をロックナットに折り曲げる作業が一切不要！六角形状シン…

『SLB スペースロックベアリングナット』は、六角形状のプリぺリング トルクタイプの強力な戻り止めロックナットです。 締付けの際にボルトのねじ山を損傷させることもなく、再使用しても 戻り止め機能を低下させることがない画期的な製品。 適正な初期予圧量を長期間保持できるため、剛性力の低下で発生する 軸受の様々な損傷を防止できます。 【特長】 ■再使用しても強力な戻り止め効果を...

メーカー・取り扱い企業： ハードロック工業株式会社

枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

ＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパクトな枚葉式ロードロック室とツインハンドロボットの採用でりコンパクトな設置寸法を実現。 通常のウェハだけでなく。１ｍｍ以上の厚みのウェハや矩形基板など特殊基板にも対応実績。多用途対応の枚葉式エッチング・アッシング装置...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店