3分でわかる！AMR（自律走行搬送ロボット）とは？※解説資料進呈

PR【AMR（自律走行搬送ロボット）とは？】搬送の自動化でよく使用されるA…

AMRとは Autonomous Mobile Robot の略称で、自律走行搬送ロボットと呼ばれています。 SLAM機能を搭載し、周囲の環境地図を作成、自己位置を推定・自動で経路探索しつつ 目的地まで走行できます。 その特性上、様々な物を色々な場所に搬送する多品種・小ロット生産の現場向きです。 走行経路探索と人や障害物の回避を自動で行えるため、人との協働が可能です。 本資料は、...

メーカー・取り扱い企業： ASPINA：シナノケンシ株式会社

【LEMO】計測機器/医療機器/半導体製造装置向けコネクタ特集！

PRご採用事例とともに、各アプリケーションに好適なLEMOコネクティングソ…

レモジャパンでは、いつでもLEMOのコネクティングソリューションをご覧いただける3つの特設サイトを公開中！ レモコネクタはモジュール方式による多様な組み合わせにより様々なご要望に対応する好適な丸型コネクタを選択することが可能です。 3つの特設サイトでは、レモコネクタご採用事例とともに各アプリケーションに好適なLEMOコネクティングソリューションをご紹介いたします。 下記関連リンクよりお越...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

300mmウエハー対応クリーンオーブン『SO2-12-F』

300mm(12インチ)ウェーハ対応の半導体製造向けクリーンオーブン

増設ができます。 ポリイミドキュアなどの低温処理で高スループット、短タクトタイムを実現します。 【特長】 ■FOUP対応全自動クリーンオーブン ■最大50枚/チャンバー ■1台のロボットで2チャンバーに対応 ■1チャンバーあたり2FOUPで運用 ■2枚葉搬送ロボットによる高効率ウェーハ搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

300mmウェーハ対応ラージバッチ縦型炉『VF-5900』

最大16個のFOUPストッカー！300mmウェーハ対応のラージバッチ縦…

います。 【特長】 ■ラージバッチ、最大100枚一括処理可能 ■最大16個のFOUPストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉+5枚一括搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ■オペレータフレンドリーな高機能制御システム搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部

ミニバッチ縦型炉『VF-3000』

R&D～量産まで使用可能な～Φ200mmウェーハ対応の自動搬送搭載縦型…

能、R&Dから量産ラインに対応 ■～Φ200mmまで幅広いウェーハサイズに対応 ■最大4個のカセットストッカー ■LGOヒータ搭載により、低温から中高温まで優れた温度特性を発揮 ■枚葉搬送ロボットによる高速ウェーハ搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部