小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

新発売！低流量の配管の通水をひと目で確認「フローモニター小口径」

PR成形機周辺の配管に！狭いピッチにも対応、レンズ部分のみの交換が可能でコ…

『FMC-25-1F/FMC-25-2F』は、レンズ交換タイプのフローモニターです。 従来品「FMC-30-3F/FMC-30-4F」の小口径タイプが新登場！ 従来のフローモニターよりさらに低流量（0.6～6L/min）な配管に対応しています。 2色の羽根の回転で流体の流れを目視で確認でき、低流量時の流れがより見やすくなりました。 金型の小型化に伴う、狭いピッチにも取付可能です。 従来品同様、配...

メーカー・取り扱い企業： 日東工器株式会社

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

改善成功事例　事例4　有機EL成膜装置改造

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。 しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。 ◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、 その都度、大気開放する必要がある。その為、試料にダメージが生じてしまう。 また、一貫した真空環境ではない為、無駄な時間を費やしてしまう。 ◆有...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

『高速スパッタリングによるさまざまな用途への成膜技術および装置面

※9月3日までに初めてお申込いただいた新規会員様は早期割引価格⇒42,…

置の改善と変遷 3.膜厚分布の改善 4.ステップカバレージの改善 　4-1　ステップカバレージの改善要求 　4-2　カバレージが必要な理由 　4-3　スパッタ方法の改善 【質疑応答　名刺交換】 第2部　反応性高速スパッタおよびカソード技術 1.スパッタの基礎 2.反応性高速スパッタの種類 3.特徴のある各種カソード技術 4.高速スパッタ応用例 　4-1　光学薄膜　4-2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社AndTech

ラミネート機『MHL-50』※有機EL評価装置の総合カタログ進呈

加熱ができてグローブボックスに入る小型モデル！有機薄膜デバイスの検証用…

0□mm～40□mm ロールサイズ：φ30mm、L50mm 温調範囲：試料台ステージとロール部（50～120℃ ±3℃） ステージ速度：0～15mm/sec 貼付け圧力：3種類の異なるばねを交換して押付け圧力を調整 その他：小型真空ポンプ付属 装置サイズ：250(W)×250(D)×180(H)mm 電源：100V/AC ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にど...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー

有機EL用成膜装置

有機EL用の実験装置です。搬送系の操作は、PCより制御可能です。全自動…

類、同部屋にて仕込み可能 ・有機蒸着室が2部屋装備の為、有機蒸着源が16元設置可能 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室内で基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。 ・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。 ・各処理室は特殊表面処理を施し...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

ヒートロールラミネート機『MHL-50』※動画公開中

ステージとローラ加熱が可能！250mm四方に収まる小型サイズで、グロー…

0□mm～40□mm ロールサイズ：φ30mm、L50mm 温調範囲：試料台ステージとロール部（50～120℃ ±3℃） ステージ速度：0～15mm/sec 貼付け圧力：3種類の異なるばねを交換して押付け圧力を調整 その他：小型真空ポンプ付属 装置サイズ：250(W)×250(D)×180(H)mm 電源：100V/AC ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にど...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー

有機EL用成膜装置

有機EL用のインライン型の自動制御機能を盛り込んだ研究開発用装置です。

【特徴】 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室内で基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。 ・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。 ・各処理室は特殊表面処理を施し...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

有機EL用成膜装置

有機材料と金属材料が同部屋にて成膜可能なハイブリット型成膜装置です。有…

能。 ・有機材料と金属材料の共蒸着が可能。 ・有機材料共蒸着が可能（最大4元）。 ・有機材料と金属材料とのコンタミ防止用水冷ジャケット標準装備。 ・蒸着室内で基板とマスクを真空環境下にて各々交換可能。 ・基板とマスク間ギャップは最少。 ・基板回転機構により面内の膜厚分布平坦性±5％以内。 ・有機蒸着セルは指向性に優れており蒸着室内の材料汚染が少ない。 ・各処理室は特殊表面処理を施し...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社