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光導波路ウェハ受託製造及び各種ウェハ受託加工サービス!世界トップクラス…
【主な保有技術】 ■成膜技術: スパッタ、常圧CVD、蒸着、火炎加水分解堆積(FHD)、高温アニール ■フォトリソ技術: 縮小ステッパー露光、非接触等倍露光、コーターデベロッパー ■微細加工技術: ガラスRIE、メタルRIE、ガラス・Si-Deepエッチング、リフ...
メーカー・取り扱い企業: NTTデバイスオプテック株式会社
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