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PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…
『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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PR【超高圧ジェットでメタル&レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし! ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム (オプション) 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能! 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
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化学薬品の代わりに水蒸気を使った洗浄機「蒸気2流体洗浄装置」
半導体業界から生まれた新技術!蒸気を超音速で噴射することで「汚れ」を除…
蒸気2流体洗浄装置は上記を超音速で噴射することで発生する衝撃波(キャビテーション)とせんだん力により汚れや微小異物を除去します。 また、薬品を使わないので廃液処理が簡単で、低コストを実現します。 【特徴】 ■蒸気を高音速で噴射して汚れを除去 ■薬品を使わないので、廃液処理が簡単で低コストを実現 ■水のみで洗浄するので環境に配慮し安全 ■非接触なので消耗品が少ない ■油性マジック及...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社メイコー
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大型ガラス基板に対応したFPD用製造装置、各種半導体製造装置のEMSの…
FPD関連事業、半導体関連事業におけるEMSに多数の実績を有しております。国内最大級のクリーンルームを活用してお客様のご要望にお応えいたします。 ■FPD関連事業 国内最大級のクリーンルームを備え、「第10世代以上の大型ガラス基板」に対応した製造装置のEMSによる生産を行っています。 さらに、LCDだけでなくPDP、有機EL等の他のFPD用製造装置のEMSも可能です。 ・塗布装置 ・真...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社メイコー
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「創造力」「開発力」「技術力」と「スピード」で新技術・新製品の価値を創…
株式会社メイコーは、「創造力」「開発力」「技術力」と「スピード」で新技術・新製品の価値を創造し、地域社会に貢献するもの作りナンバーワン企業です。 弊社は各種リソースのバランスを図り、主力ビジネスであるFPD(液晶、プラズマディスプレイ、有機EL)関連事業、半導体関連事業、計測機器事業 、自動化・省力化機器関連事業、クリーンエネルギー(太陽電池、燃料電池、etc.)関連事業、超大型・精密機械加工...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社メイコー
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