フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

冷熱ブライン循環装置『ブラインチラー』【精密な温度制御！】

PR循環ポンプ１台で冷却加熱ブラインを供給！ブライン供給配管の切替作業不要…

ブラインチラーは、「試験装置・温度制御用」「半導体・完成テスト用」を ご用意した冷熱ブライン循環装置です。循環ポンプ１台で-100℃～+100℃ のブラインを供給します。ブライン供給配管の切替作業は不要です。 【仕様】 ■冷凍方式：混合冷媒・マルチカスケード方式 ■加熱方式：電気ヒーター・ホットガス加熱方式 ■循環ポンプ・ブラインタンク内蔵 　◎循環量：10～20L/min　◎揚程：10～15m...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マック

AGV（無人搬送車）・自律走行搬送ロボット向け 電動シリンダー

AGV（無人搬送車）・AMR（自律走行搬送ロボット）向け小型・パワフル…

・状態のモニタリングとより細かな制御が可能 ・IO-Link/Modbus/CANopen/CANbus J1939などの通信インターフェースに対応可 ・最大８本まで同期運転 ■用途■ 台（デッキ）昇降・ロック機構など ※製品の詳細は当社ウェブサイトをご覧ください。 ※ダウンロードから「マテハン機器・モバイルロボット（AGV・AMR）での電動シリンダー活用事例」がPDFでご覧...

メーカー・取り扱い企業： リナック株式会社 日本支社

AGV・AMRでの電動シリンダーの活用　※『導入事例集』無料進呈

無人搬送車(AGV)・自律走行搬送ロボットへ(AMR)の電動シリンダ／…

【特長】 ■コンパクト設計　■長寿命　■設置が簡単（設計・組み込みが楽） ■状態のモニタリングとより細かな制御　■同期運転可 ■電動化で省エネ・メンテナンスフリーを実現 【用途】 台（デッキ）昇降・ロック機構など ※ダウンロードから「導入事例：AGV（無人搬送車）、 　AMR（自律走行搬送ロボット）での電動シリンダー活用」がPDFでご覧頂けます。 ※詳細は当社ウェブサ...

メーカー・取り扱い企業： リナック株式会社 日本支社

『導入事例集』無料進呈！：農業機械での電動シリンダー活用

農業機械・農業ロボットへの電動シリンダ ・電動アクチュエータ活用実例集…

＜その他　用途例＞ ・建設機械・林業機械・特装車：エンジンフードの開閉、エンジンスロットルの角度調整、各種調整など ・マテハン機器：AGV（無人搬送車）・自律走行搬送ロボットの台昇降・ロック ・機械設備：機械カバー・ドアの開閉、コンベアベルト・作業台の昇降など 多種多様なアプリケーションに使⽤可能︕当社は電動シリンダ専業メーカーとして、産業機械・建機・農機への導⼊実...

メーカー・取り扱い企業： リナック株式会社 日本支社