フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

大型鋳物 ターニング加工【加工事例集を進呈】

PR500～4000ミリの中・大物の工作機械、半導体製造装置などの実績多数…

工作機械、半導体製造装置・各種検査装置部品、船舶・発電機部品、専用機部品、プラント部品などあらゆる鋳物製品の切削加工を行っており、精度や外観に厳しい製品の仕上がりで定評を頂いております。 設備は大型ターニング（立旋盤）３台、五面加工機２台、門型マシニング２台、横中ぐりマシニング3台、大型5軸加工機、立形マシニング7台、平面研磨機など多彩な加工機を保有。 500～4000ミリの中・大物鋳物を高精度で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＩＳＳ西川機械

KANKEI「クリーンルーム用機器カタログ」

クリーン環境をもっと身近に！クリーンルームを清浄に保つための機器

2連両吹 ○HEPAフィルタ 0.3 µm 99.97%：1枚／2枚／2枚／4枚 ○ジェットノズル：8個／16個／16個／32個 ○ノズル吹出風速：約25m/s ○ファン出力 400W：1台／2台／2台／4台 ○操作部：ファン手動 - 自動SW・ファンSW・照明SW ○電源：3φ 、200V ○消費電力：600W／1200W／1200W／2400W ○総重量：250kg／350...

メーカー・取り扱い企業： 関計株式会社

クリーンルーム施工／クリーンルーム用設備機器

人・物の動線に配慮して適切な空気の循環を実現。ご希望にあわせたクリーン…

の流れでバリアを形成し、虫やホコリの侵入を抑えます。 ●セーフティクリーンパーティション 　HEPAフィルタ、ファンを厚さ120mmのボディに納めています。 ●クリーンベンチ 　作業台の上をクラス100の高い清浄度に保つ経済的な装置です。 ●クリーンパッケージ 　プレフィルタ、HEPAフィルタ、ファンをまとめた床置型空気清浄装置です。 ●クリーンロッカー 　HEP...

メーカー・取り扱い企業： 高津伝動精機株式会社

エアシャワー　シャワーユニット　NASU-81P

エアシャワーに組込まれるユニット。通路や小空間に簡易的に設置可能！

sec以上 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97%以上 ○フィルタ →プレフィルタ：不織布フィルタ　メインフィルタ：HEPAフィルタ ○ジェットノズル数：8個 (φ30) ○ファン：1台 ○電源：AC200V・3φ・50/60Hz ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニットー冷熱製作所

エアーシャワー『二方吹タイプ/AS-D型』

クリーンエアーで洗浄・除去！

付塗装仕上げ ■HEPAフィルター：610×610×75　2枚 　　　　　　　　　　集塵効率99.97％以上(0.3μm粒子径) ■環境FAN：EF-17CST 3φ 200V　0.4kw　2台 ■パンカールーバー：アルミ製 AS30A 16ヶ ■本体内装：SECC ボンデ鋼板 1.2ｔ　焼付塗装仕上げ ■プレフィルター：不織布 ■操作パネル：電源ブレーカー 運転タイマー 蛍光灯ス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社多田製作所

エアシャワー　シートシャッタータイプ NAS-161P-AU

扉に狭いペースや台車での通過が容易なシートシャッターを採用！

エアシャワーは、クリーンルームや無菌室の出入り口に設置し、作業者の衣服に付着している塵埃や毛髪を除去します。 「NAS-161P-AU」は、扉に狭いペースや台車での通過が容易なシートシャッターを採用、さらにエアシャワーとシートシャッターの基幹部品を融合し、大幅なローコスト化を実現しています。シートレールに樹脂ガイドを採用し、気密性が向上しました。 はさ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニットー冷熱製作所

エアシャワー　一人用手動扉　L型タイプNAS-81PLSL-E

幅1100mmのスリムタイプなので、狭い通路やスペースに余裕のない場所…

c以上 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97%以上 ○フィルタ →プレフィルタ：不織布フィルタ　メインフィルタ：HEPAフィルタ ○吹出口：8個 (樹脂製パンカーφ30) ○ファン：1台 ○照明灯：16W×1灯 ○電源：AC200V・3φ・50/60Hz ○質量：約 230kg ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニットー冷熱製作所

エアシャワー　両吹き片引き自動扉タイプNAS-161PSL-AS

両吹きタイプで、出入り口が自動扉。荷物を持っての入退室時に便利！

ec以上 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97%以上 ○フィルタ →プレフィルタ：不織布フィルタ　メインフィルタ：HEPAフィルタ ○ジェットノズル数：16個 (φ30) ○ファン：2台 ○照明灯：16W×1灯 ○電源：AC200V・3φ・50/60Hz　AC100V・1φ・50/60Hz ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニットー冷熱製作所

エアシャワー　一人用手動扉 片吹きタイプNAS-81PSL-E

HEPAフィルタを使用した一般的な片吹きタイプ 標準型です。

c以上 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97%以上 ○フィルタ →プレフィルタ：不織布フィルタ　メインフィルタ：HEPAフィルタ ○吹出口：8個 (樹脂製パンカーφ30) ○ファン：1台 ○照明灯：16W×1灯 ○電源：AC200V・3φ・50/60Hz ○質量：約 230kg ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニットー冷熱製作所

エアシャワー　一人用手動扉両吹きタイプNAS-161PSL-E

両サイドにある１６個のジェットノズルからクリーンエアが吹出されます。

以上 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97%以上 ○フィルタ →プレフィルタ：不織布フィルタ　メインフィルタ：HEPAフィルタ ○吹出口：16個 (樹脂製パンカーφ30) ○ファン：2台 ○照明灯：16W×1灯 ○電源：AC200V・3φ・50/60Hz ○質量：約 280kg ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニットー冷熱製作所

エアシャワー　両吹き両引き自動扉タイプNAS-161PSL-AW

両吹きタイプで、出入り口が自動扉。荷物を持っての入退室時に便利！

ec以上 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97%以上 ○フィルタ →プレフィルタ：不織布フィルタ　メインフィルタ：HEPAフィルタ ○ジェットノズル数：16個 (φ30) ○ファン：2台 ○照明灯：16W×1灯 ○電源：AC200V・3φ・50/60Hz　AC100V・1φ・50/60Hz ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニットー冷熱製作所

エアシャワー　両吹き省スペースタイプ NAS-161PSL

狭い通路やスペースに余裕のない場所への設置に最適です。

○吹出風速：23m/sec以上 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97%以上 ○フィルタ →プレフィルタ：不織布フィルタ　メインフィルタ：HEPAフィルタ ○吹出口：16個 ○ファン：2台 ○照明灯：16W×1灯 ○電源：AC200V・3φ・50/60Hz ○質量：約 250kg ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニットー冷熱製作所

エアシャワー　両吹き両引き自動扉タイプ NAS-161P-AW

両吹きタイプで、出入り口が自動扉。荷物を持っての入退室時に便利！

ec以上 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97%以上 ○フィルタ →プレフィルタ：不織布フィルタ　メインフィルタ：HEPAフィルタ ○ジェットノズル数：16個 (φ30) ○ファン：2台 ○照明灯：16W×1灯 ○電源：AC200V・3φ・50/60Hz　AC100V・1φ・50/60Hz ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニットー冷熱製作所

エアシャワー　一人用手動扉 片吹きタイプ NAS-81P

HEPAフィルタを使用した一般的な片吹きタイプ 標準型です。

c以上 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97%以上 ○フィルタ →プレフィルタ：不織布フィルタ　メインフィルタ：HEPAフィルタ ○吹出口：8個 (樹脂製パンカーφ30) ○ファン：1台 ○照明灯：16W×1灯 ○電源：AC200V・3φ・50/60Hz ○質量：約 230kg ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニットー冷熱製作所

エアシャワー　両吹き片引き自動扉タイプ NAS-161P-AS

両吹きタイプで、出入り口が自動扉。荷物を持っての入退室時に便利！

ec以上 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97%以上 ○フィルタ →プレフィルタ：不織布フィルタ　メインフィルタ：HEPAフィルタ ○ジェットノズル数：16個 (φ30) ○ファン：2台 ○照明灯：16W×1灯 ○電源：AC200V・3φ・50/60Hz　AC100V・1φ・50/60Hz ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニットー冷熱製作所

エアシャワー　一人用手動扉 両吹きタイプ NAS-161P

両サイドにある１６個のジェットノズルからクリーンエアが吹出されます。

以上 ○集塵効率：0.3μm粒子にて99.97%以上 ○フィルタ →プレフィルタ：不織布フィルタ　メインフィルタ：HEPAフィルタ ○吹出口：16個 (樹脂製パンカーφ30) ○ファン：2台 ○照明灯：16W×1灯 ○電源：AC200V・3φ・50/60Hz ○質量：約 280kg ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニットー冷熱製作所