組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』

PRギャップフィラーや放熱性グリスなど半固形状の高粘度材料を送液可能！ペー…

サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』は、 ペール缶から直接、材料を吐出できる材料圧送ポンプです。 サーボ駆動により、高精度の吐出を実現しており、 季節に合わせて吐出量を調整するといった手間も減らせます。 放熱ギャップフィラーや放熱性グリスなどの半固形状の高粘度材料などのスムーズな送液が可能になり、 塗布作業などの高品質化・作業効率向上などにつながります。 ...

メーカー・取り扱い企業： トミタエンジニアリング株式会社

取付工事不要の自動給油機　※高所や狭所にも取り付け可能

高吐出圧で２０ｍまで延長できるので、高所や狭い場所の対応可能な自動給油…

グリース補充式『DUO-MAX』は、現在使用されているグリースをそのまま自動給油化出来、2箇所吐出口がある便利な自動給油機です。 高所や狭い場所に設置したいが、それに対応する自動給油機がなく困っていたというお声をよくお聞きします。　 高い圧力なので高所や閉所、給油工数のかかる場所に対して、最大20ｍまで延長可能なため、管理しやすい場所に設置が可能。　 コンベアーラインに対しては、最大...

メーカー・取り扱い企業： ザーレン・コーポレーション株式会社

【インバータ適用例】自動給水装置

インバータでポンプの回転数を制御し、大幅な節電が可能！

リット】 ■省エネルギー化 　昼、夜または平日、休日で負荷変動が大きいので、 　インバータによる回転数制御で大幅な節電が図れる ■自動プロセス制御 　インバータに標準搭載のPID制御で、吐出圧 設定信号と 　圧力検出信号を比較して、圧カー定制御を行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 東芝シュネデール・インバータ株式会社

半導体製造プロセスにおける圧力計測機器＜薬液・超純水＞

薬液・超純水計測に適応した、接液部構造！薬液・洗浄水などの計測の用途事…

薬液・洗浄水などの計測における、圧力計測機器の 用途事例をご紹介します。 薬液タンクのレベル計測から、薬液の吐出圧監視、 ライン圧監視などを実行。 洗浄工程における薬液・超純水の効率的な利用を 支えます。 【ウェットプロセス圧力計測分野】 ■超純水・高機能水 ■フッ酸・塩酸 ■スラリー ...

メーカー・取り扱い企業： 長野計器株式会社