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アルミ溶解炉『アルキープ・アルイッシュ・バーチカルアルキープ』
PR高機能・高品質のアルミ溶解炉。当社のベストセラーモデル"アル…
お客様の運用面・ニーズにお応えできる、多様性を備えたアルミ溶解炉の ベストセラーモデル"アルキープ3姉妹"のご紹介! アルキープの最大の特長である独自設計の「溶湯プール部」を備え、 溶解室で溶湯を昇温し、溶湯は常にクリーンな状態を維持できます。 【アルキープ3姉妹】 ■アルキープ 当社独自設計の「溶湯プール部」を備えた元祖モデル。 溶解室の形状変更により、さらに耐久性・省...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社TOKAI
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リフトオフ・厚膜・低温成膜対応 昭和真空の技術を結集させた最上位モデ…
主ポンプはクライオポンプを搭載しています。 操作制御系は全自動式になっています。 【特徴】 ○良好な膜厚分布が得られるように蒸発源と基板治具が配置されている ○電子ビーム式蒸発源は6点式坩堝を採用していますので、 同一真空中内で6種類の成膜が可能 ○基板はφ75mmで30枚、φ100mmで20枚、φ150mmで9枚収納できる ○入射角±5°以内で成膜可能 ○真空槽内の防着シー...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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様々なタイプの蒸着源をご用意しております
域:160~3300℃ ○3源蒸着源 Triple-EFM →蒸着面積:φ8.5、11、15mm →動作距離:約93±10mm ○大面積用蒸着源 EFM6 →蒸着面積:φ50mm以上 →坩堝容量:最大10ccm ○原子状水素源 EFM-H →加速電圧:0-1keV(100mA) →ビーム照射角:±6~±15°(電力に依存) ○蒸着源用電源 EVC100L/100 ○蒸着源用電...
メーカー・取り扱い企業: シエンタ オミクロン株式会社
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