実験用スパッタ装置
簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/…
● 価格500万円(税込み) ● φ3インチターゲット 1元カソード ● RF300W電源、自動マッチングボックス付 ● ガス系統:1系統(オプションにて3系統まで対応可)、 マスフローコントローラーによる調整 ● 酸化物など絶縁体のスパッタが可能。 ● オプションにて基板ヒーターの取付可。 ● 余分なものを省きながら使いやすいシンプルな構造。 ● 800W×600L×900H...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤシマ
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