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【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化(No.2220)
PR【試読できます】-成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄-
書籍名:先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 --------------------- ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか! 新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 --------------------- ■ 本書のポイント 1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社技術情報協会
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非常停止・インターロック機能搭載 最大容量300kW、1600V出力…
コンパクトな一体型筐体のADG-Pシリーズに新機能を追加。高効率(90%)かつ応答速度(4~20msec)の基本性能、誰でも分かりやすい大型の液晶タッチパネルはそのままに、CPモード、マスタースレーブ機能、非常停止機能、インターロック機能を追加。インターフェースには、シリアル通信(RS-485,RS-232C,USB)に加えLANならびにアナログ制御を標準装備しました。航空宇宙、新エネルギー開発、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社計測技術研究所 パワエレ営業部
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