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PRボールねじ搬送のたわみ・速度制限・大口径化・モータ大型化の悩みを解決!…
当社のラックアンドピニオン直動システムは、“高精度・高速・高搬送力・高耐久・長尺”を兼ね備えます。搬送重量がトンクラスでも高速・高精度に搬送可能。ラックはマシンベッドに直接設置の為、ボールねじで発生する”たわみ”の心配は不要です。 バックラッシ最小1arcminの遊星歯車減速機と、累積ピッチ誤差最小30μm/1000mmのラックにより、非常に高精度な位置決めが可能。ラックは最長2mですが、並...
メーカー・取り扱い企業: ストーバー・ジャパン株式会社
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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フレーム損失を最小限に抑えながらスムーズなパフォーマンスを保証
、安定したレベルに保つ ◆スマートリソース配分を使用し、実行中の記録作業に全く干渉させない ◆ガーベージコレクションの完全再設計、現代の監視アプリケーションに向けたTRIMとウェアレベリングにて構成されている ~続きはダウンロードしてご覧ください~...
メーカー・取り扱い企業: イノディスク・ジャパン株式会社
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各種スイッチ総合ラインナップ <圧力、真空、油圧>【使用事例付】
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