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磁気軸受け制御方式採用!省スペース、低振動を実現したコントロールユニッ…
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-iX455」は、DC48V電源のみで駆動可能なため、 従来のタック型コントロールユニット及び接続ケーブルが不要です。 また、ディスプレイユニット、電源ユニットなどオプ...
メーカー・取り扱い企業: 丸菱実業株式会社
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全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーショ…
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現! 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに...
メーカー・取り扱い企業: 丸菱実業株式会社
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設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能!
大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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Better pump for Better Yields !
BPS-600ポンプシステムは消耗品となる軸受やシールを使わない革新的な遠心ポンプです。 磁気浮上の原理に基づいて、ポンプのインペラは密閉されたポンプケーシングの中で非接触に浮上し、モータの回転磁界によって駆動されます。 インペラとポンプケーシングは、共に耐薬液性の高純度フッ素樹脂で造られて...
メーカー・取り扱い企業: Levitronix Japan株式会社
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長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気。電子顕微…
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-301」は、ミニマムメンテナンス、及び低振動が要求されるアプリケーションに最適です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現! 科学機器、半導体、磁気媒...
メーカー・取り扱い企業: 丸菱実業株式会社
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オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型及び磁気浮上型の高性能ターボ分子ポンプです。 ...
メーカー・取り扱い企業: 丸菱実業株式会社
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