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簡易型UVナノインプリント装置 ImpFlex Essential
ナノインプリントリソグラフィー。徹底的なコストダウンで、低価格実現
プットを実現した ナノインプリントリソグラフィー 【特徴】 ○低残膜、膜厚均一性の高いImpFlexと共通のインプリントエンジン搭載 ○徹底的なコストダウンにより低価格を実現 ○バブル消去ガスプロセス対応 ○多種モールドに対応可能 モールドサイズ□10mmから最大90mmまでの転写が可能 また、モールド材料は石英の他にオプションで Ni電鋳などの他の材料も使用可能...
メーカー・取り扱い企業: 三明電子産業株式会社
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