FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

部品製作

部品製作

切削、板金、溶接、製罐、脱脂洗浄まで幅広い加工技術を有しています。 大型５面加工機をはじめとした各種加工機を保有し、お客様の要求にお応えした 精度の高い機械加工を提供しています。 真空チャンバはJIS溶接技能認定者がTIG溶接を行っており、真空装置の要となります。...

メーカー・取り扱い企業： 長州産業株式会社