FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ヘリウムリークテストシステム｜HES-2000 series

高精度・高圧測定に最適な「ヘリウムリークテストシステム」 真空チャンバ…

専用機として製作するヘリウム検査装置を、自由度の高い標準システムとしてご提供することで、価格を抑えています。 計測方式は真空チャンバ法と大気圧チャンバ法の２種類からお選び頂けます。 本体ユニットの標準化により、フルオーダー製品よりも仕様の選択が簡単です。 ヘリウムガスの消費量を抑制し、制御するガス回収ユニットをご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フクダ

装置搭載型水素リークディテクタ｜HDZ-0201

水素ガスを使用する高感度な気密検査機。気密検査装置に搭載するために利便…

を攪拌し、強制循環させ、水素ディテクタによりガス濃度を測定する【大気圧チャンバ法】 ・チャンバ内を真空にした後、チャンバに大気を導入し、水素ディテクタにガスを導くことで、高感度な測定が出来る【真空チャンバ法】 の２つがあります。 小型・軽量で装置に組込み易い設計。 加えて濃度分解能力は0.1 ppmまでの超高感度（設定条件や環境条件によります）。 ※詳細はお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フクダ