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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…
◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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タニムラ ウエハー用クリーン無塵合紙・挿間紙MK-WSF/WSE
クリーンルーム対応 ウエハーに挟むスペーサー・挿間紙
ンボス加工を施しており、クッション性と剥離性が向上します。 本製品は破り・擦り・揉みに対して発塵を抑えるクリーンペーパー(無塵紙)を使用しています。 それらをクリーンルームにて加工を行い、その後真空パック(クリーンパック)を行っています。 「ウエハー用クリーン合紙」を合紙として使用することで安心して保管・運搬ができます。...
メーカー・取り扱い企業: タニムラ株式会社
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