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タッチパネル制御によりレシピ操作ができる減圧乾燥装置です
「VD-400」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を 減圧乾燥する装置です。 【特長】 ・タッチパネル制御による操作の簡易化 ・レシピ操作有り(操作手順の再現化が可能) ・2段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥の実施 ・バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能 【主な仕様】 ○チャンバー :外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm(蓋閉時) ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社イーエッチシー
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