減圧乾燥装置「VD-400」

タッチパネル制御によりレシピ操作ができる減圧乾燥装置です

「VD-400」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を 減圧乾燥する装置です。 【特長】 ・タッチパネル制御による操作の簡易化 ・レシピ操作有り（操作手順の再現化が可能） ・２段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥の実施 ・バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能 【主な仕様】 ○チャンバー ：外寸法　400mm x 400mm　高さ103mm（蓋閉時） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イーエッチシー