蒸着装置 | イプロスものづくり

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

先端薄膜プロセス開発・少量生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績蒸着・アニール・ＣＶＤなどの異種プロセス室も装備可能で実績のあるメインフレーム（搬送システム）に各プロセス室を自由に...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

【産業調査レポート】世界のパルスレーザー堆積装置市場

世界のパルスレーザー堆積装置市場2023年～2030年：設計種類別、用…

パルスレーザー堆積装置の世界市場は、2022年に約XX億米ドルと評価され、予測期間2023年から2030年にかけてXX%以上の健全な成長率で成長すると予測されています。パルスレーザー堆積(PLD)は、薄膜やコーティングの製造と蒸着に使用される技術です。高エネルギーのパルスレーザーを用いてターゲット材料をアブレーションし、気化したターゲット材料からなるプラズマプルームを生成します。このプルームは次に...

メーカー・取り扱い企業： H&Iグローバルリサーチ株式会社

Zステージ　LMTシリーズ

各種コンポーネントを取り付け大気側から直接移動調整が可能な中空Zステージ【特徴】 ○オールメタルシールによりベーキング可能 ○コンフラットフランジ仕様により　MBE装置等、各種超高真空装置に使用可能 ○φ34CF〜φ114CFまで対応 ○各種センサー・蒸着源と組み合わせることにより　真空内への移動が容易に行える ●その他機能や詳細については、カタログダウンロー...

メーカー・取り扱い企業：アリオス株式会社

製品案内　装置

表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

北野精機株式会社では、表面分析用チャンバー（極・超高真空）もしくは蒸着用チャンバー（超・高真空）を製作しております。材質は、ステンレス鋼もしくはアルミが標準となるほか、非磁性等の材料も選定可能。フランジには、ICF規格・ISO規格・JIS規格を基本的に使用しております。また、特型の指定フランジも接続可能な設計製作を承ります。使用真空度に合わせて、表面処理はGBB処理・バ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

走査電子顕微鏡観察の受託サービス｜JTL

SEM/FE-SEMによる高倍率での表面形態観察を実施します。

走査電子顕微鏡観察サービスでは、SEMやFE-SEMを使用して、試料の表面の高倍率形態観察を行います。 SEM観察では表面の凹凸状態だけでなく、組成の分布状態、結晶粒子の状態等の観察も実施可能です。FE-SEM観察では走査型電子顕微鏡（SEM）より高倍率での観察が可能で、さらにEBSDによる結晶方位解析も実施可能です。また、SEM/FE-SEMに付属するEDXにて、元素分析を行うことも可能です。...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社本社

射出成形技術

光学レンズ、反射ミラー等の高精度光学要素技術を生かし、新しい分野へ！

【主要設備（抜粋）】 ■射出成形機　62台（50t～450t） ■光学蒸着装置　8台 ■重合蒸着装置　4台 ■レーザー干渉計・解析装置・Zygo ■非接触式3次元形状測定機（UA3P） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社nittoh

超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。高効率強磁性体用カソードやワイドエロージョンカソードなど成膜機構も選択でき、基板や目的に合わせて個別要求にご対応いたします。シンプルな装置構成にも対応可能、リーズナブルなコスト対応を実現いたし...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

『走査型電子顕微鏡（SEM）観察』

難電導性試料の無蒸着観察可能！繊維等の表面観察に最適な走査型電子顕微鏡…

『走査型電子顕微鏡（SEM）』は、細く絞った電子線を試料に照射、走査し、二次電子や反射電子を検出してその強度をモニター上に映像として表示することによって対象物の拡大像などを得る装置ですです。像質が落ちるため高倍率観察には向きませんが、低真空モードを使い、難電導性試料の無蒸着観察も可能です。【観察項目】 ■5～300,000 倍での表面観察 ■附属装置のエネルギー分散...

メーカー・取り扱い企業：コベルコ溶接テクノ株式会社

Dynavac社天体望遠鏡用成膜装置

2 m以上の望遠鏡基板に光学多層膜を成膜（スパッタ、蒸着）します。

Dynavac社は望遠鏡へのコーティングにおいて、リーディング企業です。・スパッタと蒸着による成膜・様々な鏡の形状にあわせます・膜厚均一性：±5 %未満 ...基板サイズ:2 - 8.4 m （外径) 多層膜成膜にも対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

膜厚モニター用水晶振動子

蒸着装置やスパッタリング装置などの真空成膜プロセスにおいて、膜厚モニターとして広く使われているQCM方式の膜厚計用の水晶振動子です。周波数は５ＭHzと６MHz、電極膜材料は金（Au）と銀（Ag）を揃えております。弊社販売品については再生もお受けいたします。 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社アベニューマテリアル

カバーガラス付きビューポート

薄膜蒸着装置、真空処理装置などで、窓ガラスが汚れてしまい窓ごと交換していませんか？真空封止用窓ガラスの前にカバーガラスを設けることで、カバーガラスのみを洗浄、もしくは交換することができます。カ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノポート

【反射防止膜（AR膜）】『高透過』・『広帯域』を実現！

新型蒸着装置の導入により　『反射率の低減』、『波長帯の拡張』に成功！！

新型蒸着機導入により、反射防止膜の性能が大幅UP！＜高透過＞＊可視域全域での平均反射率を低減！＊中間波長帯のリップル低減！＜広帯域＞＊導入前、波長帯は可視域のみであったが、近紫外・近赤外も含む、広帯域での高透過のAR成膜に成功！ご質問やご相談、試作依頼等も承っております！ご興味をお持ちいただけましたら、まずは、お気軽にご相談・ご一報下さい！...昨年20...

メーカー・取り扱い企業： CBCオプテックス株式会社

株式会社アドバンテック　事業紹介

確かな技術力と強固なグローバルネットワークを武器に世界へと挑みます。

株式会社アドバンテックは、国内５拠点、海外８拠点で事業を実施し、半導体及び液晶業界のお客様からご愛顧をいただいております。半導体装置等で使用されるテスト用ウエアー販売事業や、使用済みのウエハー等を再資源化するリサイクル事業に取り組み、企業様からシリコン材料等の有価廃棄物を買取らせて頂いております。さらに環境事業での排出権取引やカーボン・オフセット事業、太陽電池関連事業を実施しております。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アドバンテック愛媛本社

印刷品質検査装置『BOTH Σ SENSOR』※各種資料進呈中

紙の厚さを問わず安定的、IR照明を使った色調検査が可能！他の印刷機にも…

『BOTH Σ SENSOR』は、オフセット枚葉機、オフセット輪転機、ビジネスフォーム輪転機、グラビア印刷機等の各種印刷機に数多くの搭載実績を誇る印刷品質検査装置です。欠点検査に加え、独自技術による絵柄全域の色調検査も同時に行い、結果をモニターに表示します。またオフセット枚葉機向では、薄紙・厚紙を問わず紙尻の暴れを確実に押さえ、アルミ蒸着紙等の検査も乱反射の影響なく...

メーカー・取り扱い企業：東京印刷機材トレーディング株式会社

側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

面実装タイプの受動電子部品（抵抗器・コンデンサ）などの側面電極をドライプロセスで形成。廃液処理不要なクリーンプロセス。部品の端面のみに強い密着力で電極被膜を形成。Ｓｎ、Ｎｉ等の金属膜をハイスループットで形成。（酸化膜形成にも対応）実績豊富なハードと独自の成膜プロセスで小型電子部品の生産プロセスのドライ化・低コスト化、安定生産に貢献いたします。...電子銃による真空蒸着を基本とし独自のイオン...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

光学用EBガン EGP-1G

コストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVA…

EGP-1G は、構造のシンプルな180° ビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。さらに、2面位置決め構造の採用により、メンテナンス後の高いビーム位置再現性を有したモデルとなっています。【仕様】 ○電子ビーム偏向角度　180° ○冷却水量　10L/min ○外形（W×D×H）突起部含まず　185mm×239mm×179mm ○重量　1...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

真空蒸着、フィラメント、ボート、ハースラーナー

真空蒸着用消耗部品をオンライン販売します。

真空関連の消耗部品から構成部品、半導体製造装置の部品グラファイト、セラミックス、タングステン、モリブデン、タンタル、ニオブ、ニッケル、アルミ、ステンレスなど幅広く対応します。 ...真空蒸着消耗品、ボート、フィラメント、ハースラーナーをインターネットから購入できます。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ビット･テック

軟X線シール検査装置『FIX-6』

高速＆高精度！軟包装のヒートシール部のかみこみ、シワ検査などに

『FIX-6』は、ガス充填包装や鮮度保持剤が必要な商品、および液体小袋、粉末包装などに適したシール検査装置です。フィルム等の薄いかみこみも正確に検出。アルミ蒸着フィルムやアルミ包材など包材の種類を問わず検査できます。また品質検査の自動化により、製造工程の高速化、効率化が実現できます。【特長】 ■コンベア速度60m/minに対応、250個/minの検査実績（商品...

メーカー・取り扱い企業：サイエナジー株式会社

測定装置・分析装置の受託開発サービス

お客様の用途に応じた測定装置・分析装置を開発！今まで振動・地震などの測…

当社の『測定装置・分析装置の受託開発サービス』についてご紹介です。創業以来数多くの測定装置・分析装置を手掛けてきました。各種センサーや、測定方法のノウハウは、それぞれのお客様がお持ちですが、ソフトウェアも含め電気部分の構成は、どの装置も比較的良く似たものになります。我々の持つその電気部分のノウハウは、きっとお客様の測定装置・分析装置開発に役に立てていただけます。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社データ・テクノ

シリーズヒーターI. II. III．

フェラスアロイヒーターは最高温度870℃まで。(シリーズIII) タングステンヒーターは最高温度1090℃まで昇温することができます。石英管を使用していますので、ヒーター温度を光学的にモニターする事が出来ます。出口の形状はストレートとテーパーの2種類から選択できます。注意：690ｈPa以下の圧力でご使用下さい。石英管の保護用、あるいは熱放射反射用として、専用シールドもございます。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イフ商会

装置製作サービス

設計した機械装置の製作もお任せください！

設計実積【半導体製造装置】 ■真空蒸着装置 ■露光装置 ■CMP平坦化装置 ■めっき装置、 ■有機EL成膜装置　　　　　　　【産業用ロボット・自動化装置】 ■自動ピッキング装置 ■自動搬送装置 ■省力化組立装置 ■...

メーカー・取り扱い企業：リソー株式会社

表面処理

新しいデザイン表現にも対応可能！お客様の要求表現を実現し具現化します

日南では、塗装、印刷、レーザー彫刻、アルマイト処理などの表面処理を行っております。蒸着（スパッタリング）では、対象物を液体や高温に晒すことなくメッキ調の処理を施す乾式メッキ装置を使用し、メッキ調の処理を短納期・低コストで対応。また、縫製も行っており、布・皮革・糸の色や太さ・縫い目の表現まで、経験豊富な縫製職人が要求表現を具現化します。【表面処理】 ■塗装 ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日南

コンパクトコーター「SVC-700TMSG/Adexcel」

ターゲットは3種類同時に装着可能！多層膜を作製することが可能です。

着可能であるため、真空中においてターゲットを選択でき、多層膜を作製することが可能です。【特長】 ○オプションとして膜厚センサー、試料加熱ユニットなども取付けられる構造 ○抵抗加熱式真空蒸着装置としても使用が可能 →排気装置上部を抵抗加熱ユニットに交換し、専用電源を接続詳しくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：サンユー電子株式会社

高反射率アルミシート「MIRO(R)」

遠赤外線域まで安定した反射率を持ちます！光学機器やソーラーシステムなど…

アルミニウムの表面に高純度アルミを真空蒸着、さらに酸化膜を蒸着して増反射処理を行った高性能反射板。可視光全反射率は95％でガラスの鏡(85％～87％)よりも優れています。特殊照明器具のリフレクターに使われていましたが、近年ではLED照明器具、液晶表示装置、複写機、ストロボなどの光学機器やソーラーシステムなどの自然光利用装置など多方面に利用が広がっています。...【特長】 ○照明器具の照度...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マテリアルハウス

PETボトル用プラズマCVD装置

3L容器までコーティング可能！容器軽量化による物流コストの低減などに貢…

当製品は、当社が得意としているプラズマCVDプロセス技術を応用し、樹脂容器材質として一般的に普及している「PETボトル」への DLCコーティングに特化した成膜装置です。 PETボトル内面へサブミクロンオーダーのDLC薄膜コーティングを施すことで、内容物の酸化による風味劣化防止や、炭酸成分の溶出防止、また容器軽量化による物流コストの低減などに貢献します。【特長】 ■必要...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

成膜

反射防止コート、反射膜、各種成膜可能です。御支給材への成膜、材料～…

レンズ、基板等へのARコート、露光装置等に使われる平面鏡用反射膜等、各種成膜可能です。お客様材料御支給での成膜、またレンズ、平面基板等も加工可能な為、図面頂戴出来れば、成膜まで行った完品での納品も可能です。完品での提供が可能な為、お客様の仕入れと売上のタイムラグを軽減するお手伝いが可能です。異形物への蒸着も可能です。蒸着でお困りの事が御座いましたら、何でもご相談下さいま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シマコルツ

アル株式会社　会社案内

グロバールなネットワークでお客様をサポート！ALUがお届けします

ドリーなカスタマーサポート・サービスを提供し続けて参りたいと考えております。【事業内容】 ■各種ウェーハープロセス装置用部品・材料の設計・製造・輸入・販売 ■スパッタリング・真空蒸着装置の輸入・販売(米国CHA社) ■高純度水素精製装置(ジョンソンマッセイ社)の輸入・販売 ■サファイア基板・部品の輸入 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：アル株式会社本社

ムラビューワー

ナノクラスの微細な変化も見逃さない！半自動で欠陥を判別して可視化するこ…

『ムラビューワーシリーズ』は検査の常識を変える「見えない・見えにくい」欠陥を「くっきり・鮮やかに」に確認できる新感覚のスコープです。ガラス・水晶・サファイア等の表面に残るナノサイズの微細な研磨痕・オレンジピール・スクラッチや内部にある微細な脈理・結晶欠陥等も、目視による検査・評価が可能になり、表面粗さの管理・研磨条件の設定、蒸着後の歩留まりが確実に向上します。 ....

メーカー・取り扱い企業：株式会社三明本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所

成膜受託サービス

液相・気相コーティングに関わらず多様な工法でお客様のニーズを全方位でカ…

『連続プロセス』で工法の違うプロセスもワンストップで対応可能。生産工程を飛躍的に向上させます！多様なプロセス・膜種・膜厚が可能 ■ドライ　・スパッタ　・蒸着　・CVD 　・ALD 　・DLC ■ウェット　・ディップ　・スプレー　・印刷、転写　・ダイコーター　・ディスペンサー装置開発だけでなく、プロセス開発・装置調整、最適な冶具提案、最適な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クリエイティブコーティングス

反射防止膜『Lequa-Dry（レクアドライ）』

真空蒸着による反射防止膜（ARコート）

光の反射を低減し、高い透過率を実現する反射防止膜（ARコート）・アクリル、ポリカ、PETなどの樹脂製品へ反射防止膜（ARコート）を加工します。・大型連続式真空蒸着装置で効率よく、大量製品に対応します。・蒸着技術による、高品質で光学性能に優れた反射防止膜（ARコート）を提供します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ニデックコート事業部