蒸着装置 | イプロスものづくり

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

パリレン蒸着装置の世界市場動向分析2023-2029

パリレン蒸着装置の世界市場：現状とトレンド、市場規模、競合分析、202…

2023年9月26日に、QYResearchは「グローバルパリレン蒸着装置に関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。パリレン蒸着装置の市場生産能力、生産量、販売量、売上高、...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

PE CVDコーティング装置『CD1000 Nanofics 』

専用の真空蒸着装置を用い、気体として蒸着！コンポーネントの割れ目に…

株式会社メディア研究所ではEuroplasma社のPE CVDコーティング装置『CD1000 Nanofics SE』を取り扱っております。 Europlasma社のPE CVDコーティング装置は日本で主流とされている液体コーティングとは異なり、気体としての蒸着を行い、液体では入りきれないコンポーネントの細かな隙間・割れ目まで均一なコーティングを実現いたします。またプラズマを付加する...

メーカー・取り扱い企業：株式会社メディア研究所

LUXEL社製　抵抗加熱蒸着源(エバポレータ)　RADAK

有機物蒸着にも対応。　コンパクトで取扱いが簡単な、抵抗加熱蒸着源

質薄膜フィルターメーカーLUXEL社は、真空蒸着にお使い頂ける、抵抗加熱型蒸着源(エバポレーター)を提供しております。使いやすさ、パフォーマンスを考慮した独自のデザインで構成されており、既存の蒸着装置への導入が可能。コンパクトで取扱いが簡単なため、実験用に最適です。また、用途にあわせて、ルツボ、ライナー、熱電対などのオプションをお選び頂けます。 ※アルミナルツボを標準でご提供しています。...

メーカー・取り扱い企業：ラドデバイス株式会社

【英文市場調査レポート】中国の半導体産業

『無料サンプル』進呈中！【PDFダウンロード】ボタンからお申し込み方法…

ウエハー製造には、フォトリソグラフィー装置、エッチング装置、薄膜蒸着装置（PVD/CVD/ALD）など、10種類以上に分類されるさまざまな半導体装置が使用されます。これらのカテゴリーは、異なる動作原理や処理材料に基づいてさらに分類されます。これらの装置の製造には、光学...

メーカー・取り扱い企業：株式会社グローバルインフォメーション

BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃

学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます

日本電子株式会社 BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃は、真空チャンバー内に設置し、高密度プラズマを発生させるプラズマ源です。真空蒸着と組み合わせたプラズマアシスト蒸着 (イオンプレーティング) 法により、光学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます。また基板のクリーニングや表面改質にも有効です。〇特長・低電圧・大電流の高密度な直流プラズマにより、ガ...

メーカー・取り扱い企業：アズサイエンス株式会社松本本社

【調査資料】半導体装置用分子ポンプの世界市場

半導体装置用分子ポンプの世界市場：磁気浮上分子ポンプ、オイル潤滑分子ポ…

種類別（By Type）のセグメントは、磁気浮上分子ポンプ、オイル潤滑分子ポンプ、グリース潤滑分子ポンプを対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、リソグラフィー、薄膜蒸着装置、エッチング装置、イオン注入装置、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）の世界市場

半導体装置用マスフローコントローラー（MFC）の世界市場：熱タイプ、差…

トローラー（MFC）市場の種類別（By Type）のセグメントは、熱タイプ、差圧タイプ、その他を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、単結晶炉、エッチング装置、薄膜蒸着装置、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、半導体装置用マスフローコントロー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」

【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6…

PREVAC社製蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」は、膜圧モニター/プロセス制御システム付きで、6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能な装置です。 6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単で、シンプル・コンパクトはデザインを採用しており、2台分の真空計の入力が可能です。インターフェイスは、USB、RS232/485、Ethernet、Bluetoothから選択ができます。シャッターは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノポート

ピンホール検出装置

基材のピンホールや耐圧弱点部分、欠点部を検知します。

基材に高電圧を印加しピンホールや耐圧弱点部分部で強制的にスパークさせ欠点部を検知します。【特徴】　・ウエッジの高圧電源はスパーク時の放電エネルギーが非常に小さくなるように設計されています。　・印加電圧は、高圧安定化電源方式を採用しています。　・ワークや電極にスパークによる放電痕やカーボンの附着が殆どありません。　・電源電圧変動、負荷変動に対しても非常に安定した出力電圧を維持...

メーカー・取り扱い企業：ウエッジ株式会社営業本部及び本社工場

株式会社エイエルエステクノロジー　会社案内

高度な真空機器設計技術でお客様のアイデアをカタチとして実現！応用物理学…

ービスにてベストをつくしてまいります。応用物理学会月刊誌に公告掲載もしております。今後とも宜しくお願いいたします。【事業内容（抜粋）】 ■真空装置事業・有機デバイス研究用蒸着装置 ・昇華精製装置（トレインサブリメーション装置） ■計測装置事業・低エネルギー逆光電子分光装置（LEIPS装置） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイエルエステクノロジー

IBAD(イオンアシスト蒸着法)装置　CVI series

真空蒸着よりも緻密で強度が高く、表面が平滑な成膜が可能！

【特徴】　・従来技術の真空蒸着法に加え、イオンビームを組み合わせた複合技術　・低温で低エネルギー照射が可能　・曲面や立体にも成膜が可能【主な用途】　・超硬工具用保護膜（c-BN）　・食品用バリア膜（アルミ）　・太陽電池用下地膜（アルミ）　・光学用フィルタ膜（ZrO₂、AI₂O₃等） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...装置販売...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クリエイティブコーティングス

吉城光科学の技術『蒸着』

限りない光への挑戦！反射ミラーから、ダイクロイックミラーまで加工してい…

吉城光科学の『蒸着』技術をご紹介します。反射ミラーから、ダイクロイックミラーまで顧客ニーズに合わせ加工。また、膜設計を自社で行いニーズに応えております。オリジナルミラー(UHR)を創め、ガラス基板以外へのコーティングを研究開発しております。【主要設備（抜粋）】 ■真空蒸着機（AL） ■真空蒸着機（φ1300） ■真空蒸着機（φ1900）IAD ■真空蒸着...

メーカー・取り扱い企業：株式会社吉城光科学本社

フリーマウント式金属蒸着源『KFMD-1』

メンテナンスフリー！ボートタイプで取扱容易なフリーマウント式金属蒸着源

『KFMD-1』は、ボートに材料を充填し、通電加熱により蒸着をする簡易蒸着源です。ボート(蒸着)向きの調整が可能なため、取付方向を選ばず、既存の装置への増設に対応可能です。熱輻射シールドなどを設置することで、基板や真空槽内部へのダメージを軽減することができます。小型で簡易な設計の為、研究開発用途におすすめです。【特長】 ■コンパクトな取り付けフランジI...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

グローブボックス〜OLED・PLED・蒸着に〜ケーブラッシュ商会

リチウム電池・リチウムイオン電池・OLED・有機EL・PLED・薄膜・…

特　徴 ■システムは、アメリカで製造しています ■操作用インターフェースで操作は簡単 ■機器のアクセサリーは豊富で、各種サイズのシステムを供給 ■酸素・水分ともに1ppm以下の不活性ガス雰囲気を維持します ■精製カラムの再生を自動で行ないます ■用途に応じた特殊デザイン ■１９８１年より、グローブボックスの供給を行なってきた実績 ■高品質のガス・真空部品 ■溶媒精製装置を搭載でき...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ケー・ブラッシュ商会本社

装置製作事例

真空装置の設計・製造ならお任せください！

ロールコータ　（酸化クロム・銅）、プラスチック部品メタライズ装置、　ワイヤー成膜要スパッタ装置、レーザービームスパッタ装置、　実験用スパッタ装置（金・白金・チタン・SiO2） ◆蒸着装置 　ドアミラー蒸着装置、シールド膜蒸着装置、有機ＥＬ実験用蒸着装置、アルミ膜蒸着装置 ◆脱気装置 ◆関連機器、加工部品　ガスBOX、ガス配管、真空配管、真空フランジ等製作品 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

【調査資料】ナノ結晶ダイヤモンドの世界市場

ナノ結晶ダイヤモンドの世界市場：HPHT（高圧、高温）、CVD（化学蒸…

本調査レポート（Global Nanocrystalline Diamond Market）は、ナノ結晶ダイヤモンドのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界のナノ結晶ダイヤモンド市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。ナノ結晶ダイヤモンド市場の種類別（By Ty...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

真空蒸着システム　FCVA

アーク放電を利用して陰極部の物質を蒸発させ、それを表面に蒸着することが…

アーク蒸着で最も問題になるのは、イオンと一緒に発生されるμmの大きさの dropletです。 ...このdropletは薄膜の物性、特に表面の粗度を低下させるようになります。このシステムはmacro-particleと中性粒子を取り除き、硬度、粗度などの物性を向上させるものです。 ■□■メリット■□■ ■Dual bent duct のフィルタリングを通じてのDropl...

メーカー・取り扱い企業：パーカー熱処理工業株式会社川崎事業所

【調査資料】単結晶ダイヤモンドの世界市場

単結晶ダイヤモンドの世界市場：HPHT（高圧、高温）、CVD（化学蒸着…

本調査レポート（Global Single Crystal Diamond Market）は、単結晶ダイヤモンドのグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の単結晶ダイヤモンド市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。単結晶ダイヤモンド市場の種類別（By Type）の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーケットリサーチセンター

株式会社AlphaPlus　取扱製品紹介

真空部品や真空システムの販売などを行っています。

株式会社AlphaPlusは、韓国にある真空部品や真空システムの販売などを行っている会社です。各種蒸発源や各種の超高真空装備に使用されるイオンポンプなどの「真空部品」、各種蒸着機、金属や無機物薄膜製造に使用されるスパッタリング蒸着機、ベーパライゼーション蒸着機などの「真空システム」、多くの金属や無機物薄膜製造に使用される「スパッタリングガン」などを取り扱っております。【取扱製品】 ○...

メーカー・取り扱い企業：株式会社AlphaPlus

Hepco Motion社　高低温/真空対応ベアリング

Hepcoの極限温度範囲/真空対応ベアリングは、最も困難な環境に対応す…

coの極端な温度と真空の範囲は、最も困難な環境に標準化されたリューションを提供することにより、設計エンジニアが直面する課題に対応します。 •半導体、ウェーハ処理、LCD＆有機ELパネル製造、蒸着装置などの産業および科学分野での高真空使用に適しています。 •-50℃〜+ 210℃の温度で使用可能です。 •過酷な環境での使用中に最適な性能を発揮するため特殊グリスを使用。 •直径18〜54m...

メーカー・取り扱い企業：ミワ株式会社

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

膜厚計 →高速分光エリプソメータ ○リークディテクタ ○電源 ○膜厚・蒸着速度制御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置／巻取式蒸着装置 ○CVD装置／イオン注入装置 ○アッシング装置／自然酸化膜除去装置　エッチング装置／巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○凍結真空乾燥装置 ○...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

真空技術とFAの要素技術を融合！設計・製造からサポートまで対応

重ね合わせ装置やシール剤塗布装置と窒素置換容器、特型GBの設計・制作

半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

真空蒸着フィラメント、ボート

少量パックのオンライン販売で必要な分を必要なときに！

真空蒸着装置に使われるフィラメント、ボート。真空機構の部品オーダーメイド部品。液晶、半導体製造プロセスに使われる消耗部品、特注冶工具。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ビット･テック

有機EL材料洗浄液『OEL Clean シリーズ』

メタルマスクや蒸着装置の内部部品などに付着した有機EL材料を容易に洗浄…

『OEL Clean シリーズ』は、低分子型有機ELの蒸着工程で用いた、有機EL材料が付着したメタルマスクなどを容易に洗浄することができます。　　本薬液はマスク洗浄に限らず、蒸着装置内部で用いる部品洗浄にも使用することができます。　【特徴】 ■マスクに付着した低分子有機EL材料の除去能力に優れる ■低温、短時間での洗浄が可能 ■エポキシ樹脂やNi、Fe、Fe-N...

メーカー・取り扱い企業：関東化学株式会社電子材料事業本部

RIBER社EZ-CURVE 真空装置In-situ反りモニター

各種真空装置内でのウエハ応力、反り、曲率、異方性等をリアルタイム、高精…

RIBER社で開発されたEZ-CURVEは各種真空装置に取付可能であり、応力、反り、曲率、異方性等の測定が可能なIn-situモニターです。特徴 1) In-situ応力、反り、曲率、異方性等の測定可能 2) 成長メカニズムに関する基礎データ取得にも利用可能。 3) 各種真空成膜装置（CVD, MBE, PVD等）や真空プロセス装置(エッチング、アニーリング等）に対応可能。 4) 従来...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

CVD-SiC（化学蒸着法）「SiC製品」

SiC成膜技術で未来をひらく！独自の化学蒸着法で製作されたSiC製品

独自の CVD - SiC（化学蒸着法）で製作されたアドマップの SiC 製品は、超高純度・高耐食性・高耐酸化性・高耐熱性・高耐摩耗性の特性を備えています。半導体をはじめ、産業機械、原子力、航空宇宙分野など、あらゆるフィールドで高い評価を得ております。【特長】 ○塩酸・硫酸・硝酸・弗酸・弗硝酸などの酸ではほとんど腐食しない ○表面には二酸化ケイ素（SiO2）被膜が形成...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フェローテックホールディングス

真空蒸着用　EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型

第三世代の超多層膜用EB制御電源

【真空蒸着用　EB源・電源 NEB-10W型 NEB-10WE型】 NEB-10WE型電源は2電子ビーム源仕様の電源です。NEB-10W型電源の制御盤を簡素化しリーズナブルにしたものになります。〈特徴〉・外部エミッション制御回路により、レート制御が可能！・加速電圧／エミッション電流・フィラメント電流モニタ出力回路が標準搭載！・外部X・Yスキャン制御、外部X・Yポジション制御が可能！・放...

メーカー・取り扱い企業：日新技研株式会社

お客様のご要望に応じた成膜を真空蒸着やスパッタリングにて提供！

ダイクロイックミラーや反射防止コートなど真空蒸着技術の分野で研究開発を…

当カタログは、主に光学ミラーや光学フィルターを取り扱う河合光学株式会社の、取扱製品一覧を掲載したカタログです。 2つ以上の波長域の光に分離するダイクロイックミラーや、硝子製品や樹脂成型品の表面反射率を抑える反射防止コートをはじめ、様々な光学製品を掲載しております。【掲載内容】 ■電磁波の名称と波長 ■真空蒸着・スパッタリングのしくみ ■光学膜のしくみ ■反射防止コ...

メーカー・取り扱い企業：河合光学株式会社

RIBER社分子線エピタキシー（MBE）装置

パッシベーション用MBE装置は、レーザーファセットパッシベーション等の…

パッシベーション用MBE装置は、表面パッシベーションまたはレーザーファセットパッシベーションのために特別に設計された各種チャンバーで構成されております。表面やファセット面を保護するために、さまざまなコーティングを使用することが可能です。代表的な材料としてZnSe、SiN、酸化物等がある。構成例として、クリーニングとパッシベーションを行うレーザーの両端でデバイスホルダーを反転させる機能が含むチャ...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

真空装置

しています。操作性・生産性の高いシステムの提供に努めており、いずれの装置もユーザーのニーズが充分に反映されたものになっています。【取扱い真空装置】 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置 ○真空排気装置 ○薄膜装置 ○FPD製造 ○真空環境試験装置 ●各種真空装置の詳細は、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所