光学薄膜形成装置 Genesis-ARシリーズ

蒸着,スパッタでは困難な 高曲率レンズ，ボールレンズへの成膜に最適

光学薄膜プロセスでは一般的な蒸着，スパッタとは異なるALD（Atomic Layer Deposition）の手法を用いることにより、これまで困難とされてきたボールレンズや高曲率レンズなどの基板に対し、 付き廻りに優れかつ高品質な薄膜の形成が可能となっております。 【概要】 ○φ10 インチ基板 最大50枚一括処理（25枚×2軸） 　※基板形状や条件により異なります。 ○基板回転機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空