高圧ジェットで高速レジスト剥離！半導体製造用リフトオフ装置

PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…

【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

重量物搬送装置　パワーアタック　※最大30ｔまで移動可能！

PR最大30トンまで移動 ― 本体重量はわずか70kg ・電源・バッテリ…

重量物搬送装置「パワーアタック用搬送ローラー」を使用すると、狭いエリアでもわずか70kgの重量で最大30トンの搬送物を移動できます。 パワーアタックは、従来のフォークリフトでは動作できない場所でその可能性を最大限に発揮します。 最も過酷で要求の厳しい条件下でモデルをテストし長期にわたるチェックのおかげで、現在48か国で1,000台以上が販売されました。 パワーアタックは、荷物を移動す...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コシハラ 大阪本社

超高精度オープンタイプリニアエンコーダ LIP 200シリーズ

最小分解能31.25pmの超高精度インクリメンタルリニアエンコーダ

■特長 ・極めて高い位置安定性 ・高速制御(2m/s)と長尺対応(最長3ｍ) ・低ポジションノイズ ・大きな取付け公差により容易な取付け ・各種インターフェース対応 ■仕様 ・信号周期: 0.512μm ・精度等級: ±1μm、±3μm ・最小分解能: 31.25pm ・測定長: 最長3040mm ・インターフェース: EnDat、ファナック、三菱、1Vpp......

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

ロボティクス用エンコーダ

協働ロボットと高精度ロボットに対応するデュアルおよびセカンダリエンコー…

の小型で軽量なアブソリュートロータリエンコーダ ■高精度位置測定用セカンダリエンコーダ 　AMO製およびRSF製のモジュール式エンコーダソリューション ■サーボドライブの性能を向上する超薄型RENCO製ロータリエンコーダ ■グリッパや搬送ロボット向けのアブソリュートオープンタイプリニアエンコーダLIC 3100 ■将来のデジタル化に対応する最新のEnDat 3インターフ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタルロータリエンコーダ ROD 1900シリーズ

超堅牢型インクリメンタルロータリエンコーダ

■特長 ・堅牢なアルミハウジング ・取付けフランジもしくは取付けベースによる固定 ・外付けカップリング用キー溝付 ・長寿命 ■仕様 ・インクリメンタル信号: HTL、HTLs-C ・目盛線本数: 600～2400 ・シャフト負荷: 軸方向150N、半径方向200N(シャフト端において) ・シャフト径: 片軸タイプもしくは両軸ソリッドシャフト、φ15mm(キー付) ・保護...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

アブソリュート角度エンコーダ RCN 6000シリーズ

貫通型中空シャフトφ180mmの高精度アブソリュート角度エンコーダ

■特長 ・超高精度 ・シングルフィールド走査方式による高い信号品質 ・φ180mmの大口径貫通型中空シャフト ・プラグインケーブルとステータカップリングにより取付けが簡単 ・機能安全対応 ■仕...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

半導体・エレクトロニクス産業向けエンコーダソリューション

半導体製造に適した高精度位置決め技術のご紹介

コーダ LIC 3100: 高速アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ MC 15: RSF社製アブソリュートオープンタイプリニアエンコーダ ■高精度角度計測 ERP 1000: 超小型角度エンコーダ ERO 2000: インクリメンタル角度エンコーダ MCR 15: RSF社製組込み型アブソリュート角度エンコーダ 半導体・エレクトロニクス産業向けソリューションに...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ LIK 41

NUMERIK JENA社製－コンパクトサイズのインクリメンタルリニア…

■特長 ・限られた設置スペースに対応する超小型寸法 ・大きな取付け公差 ・出力信号補正機能搭載 ・真空対応バージョンも用意 ■仕様 ・目盛間隔: 20μm ・推奨分解能: 5μm～0.05μm ・精度等級: ±5μm ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

超高精度オープンタイプリニアエンコーダ LIP 6000シリーズ

小型で限られた取付けスペースに対応する超高精度インクリメンタルリニアエ…

■特長 ・超小型形状 ・極めて小さい内挿精度 ・高速制御と長尺測定用 ・リミットスイッチとホーミング機能 ・ステータスLED搭載 ■仕様 ・信号周期: 4μm ・精度等級: ±1μm、±3...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

インクリメンタル長さゲージ HEIDENHAIN-CERTO

超高精度インクリメンタル長さゲージ

■特長 ・超高精度、極めて高い繰り返し性 ・低熱膨張材料を使用した熱安定性設計 ・ボールブッシュガイドプランジャー採用 ・測定範囲が広い ■仕様 ・DIADUR位相格子付Zerodurガラスセ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

オープンタイプリニアエンコーダ MS 15シリーズ

RSF社製－オンライン信号補正機能付インクリメンタルリニアエンコーダ

■特長 ・超小型形状 ・リミットスイッチとホーミング機能 ・原点は50mm毎に選択可能 ・オンライン信号補正機能 ・ステータスLED搭載 ■仕様 ・信号周期: 40μm ・最小分解能: ～...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社

角度エンコーダモジュール MRP 2000シリーズ

中空シャフトφ10mmの超小型形状

■特長 ・角度エンコーダと高精度ベアリングを一体化させたモジュール製品 ・高い繰り返し精度 ・優れた熱安定性 ・測定方式はアブソリュートまたはインクリメンタルを用意 ■仕様 ・システム精度: ±7" ・アキシャル許容軸荷重: 50N ・中空シャフト径: φ10mm MRP 2010(アブソリュート) ・信号周期/回転: 2048 ・繰り返し精度: 3" ・インタ...

メーカー・取り扱い企業： ハイデンハイン株式会社