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PR30μm以下の水滴と蒸気の超音速噴射で、切削油など頑固な汚れもしっかり…
『蒸気2流体洗浄装置 ハンディガンタイプ』は、水滴と蒸気を超音速で 噴射することで発生する衝撃波(キャビテーション)と せん断力により異物、汚れを除去する装置です。 電気、純水、圧縮空気(or窒素)で動作が可能。 ハンディガンタイプのため汚れを的確に除去できるほか、 装置はキャスター付きで容易に移動できます。 【特長】 ■キャビテーションの効果を利用して汚れを除去 ■薬品を...
メーカー・取り扱い企業: HUGパワー株式会社
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フッ素系溶剤で精密洗浄とランニングコスト削減を実現する洗浄装置
PRパーティクル除去性能と溶剤の低消耗の2つの機能を兼ね備えたフッ素系真空…
真空超音波洗浄装置「SAUBER/ザウバー」は、パーティクル除去に特化し、 精密洗浄に有効な多くの機能を搭載しながら溶剤の低消耗を実現する1槽式真空密閉型洗浄装置です。 従来から純水洗浄で行われているパーティクル除去・除塵洗浄をフッ素系溶剤洗浄で行うことが可能です。 純水と比べるとフッ素溶剤は排水が出ないクローズドシステムですので、工場側排水設備への負荷がありません。 また、液の再生利用も容易...
メーカー・取り扱い企業: 富士ハイテック株式会社
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遠赤外線ヒーターと均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉
と均一加熱方式を採用した連続搬送タイプのアニール炉です。 処理時間の大幅短縮、コストダウン、インライン化に最適です。 (特長) ●早い加熱処理 例その1:自動車ヘッドランプ 溶着後の歪除去 60分⇒5分 例その2:ICトレー 射出成形後の寸法安定 240分⇒6分 例その3:人工透析器 射出成形後の内部歪除去 120分⇒3分 ●コストダウンに貢献 バッチ処理に比較して、 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ノリタケカンパニー リミテド エンジニアリング事業部 東京営業所
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Class 1のクリーンな環境で複数枚のウェハを加熱処理 最大450…
レナム、下部の吸引プレナムがついており、 加熱されたガス(通常N2)はウェハに対して平行に流れます。 平行層流(ラミナーフロー)は加熱プロセスによってウェハ表面に発生したパーティクルを 除去するのに効果的です。 チャンバー内にパーティクル除去フィルタを搭載 加熱されたプロセスガスは100um径の穴が開いたフィルタを通ってワークに到達し、 ワークを通り過ぎた後に再びフィルタ...
メーカー・取り扱い企業: ハイソル株式会社
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真空アニール装置
液晶ディスプレイの注入後の気泡や色ムラ等の不良を解消するための装置です。 注入前に加熱して真空引きすることにより、セル内部の水分や有機ガスを除去できるので、パネルの品質も向上させることが出来ます。内部ヒーターやファンの改良により、クリーン度の高い槽内環境を実現しました。 当社独自の技術により、真空加熱中の温度分布がよく、プロセス時間も短縮...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社協真エンジニアリング 本社
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生産の効率化、サイクルタイムの短縮が図れます。
高真空アニール装置 「SAF-52T-II」は、主に水晶振動子などの加工時に生ずる内部応力の歪みの除去、電極膜の安定化のための熱処理を行うことを目的として開発された装置です。 W460×D350×H35mm の加熱棚が左右計10段、170×134mmの標準トレーを最大60枚収納可能です。 【...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社昭和真空
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R&D~量産まで使用可能!3~6インチウェーハ対応の自動搬送搭載縦型炉
能で、3インチ~6インチまで幅広い ウェーハサイズに対応します。 ハードウェアと制御システムの内容を厳選し、R&D用途から量産ラインにまで お使いいただけます。 また、活性化後の炭化除去も可能な「VF-5100」もご用意しております。 【特長】 ■ミニバッチ、50枚処理、R&Dから量産ラインに対応 ■3~6インチまで幅広いウェーハサイズに対応 ■炉内は当社独自のメタルフ...
メーカー・取り扱い企業: 光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
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