デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプ UTM-FH/FWシリーズ

デジタル化による集中管理システムへの対応が可能。【アルバック／ULVA…

成物の付着を低減させる 　内部昇温システムなどのオプション対応も可能（FWシリーズ） ○優れた耐食表面処理（3303FH・6300FHを除く） →必要に応じ、特殊表面処理（Ｎｉめっき＋カチオン電着塗装、 　特殊積層皮膜、アルマイトなど）のオプション対応も可能 ○全方向取付が可能 ○スピードバリアブルシステム搭載により、 　ポンプ回転数を25～100％の範囲で可変可能 ○カップリング...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.