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最大200mm径基板!ダブルリングマグネトロン(Fraunhofer …
『scia Magna 200』は、回転式単体マグネトロンの マグネトロンスパッタ装置です。 アプリケーションは、TC-SAW向け温度補償膜(SiO2)、AlN等圧電膜、 光学用高・低屈折膜、絶縁膜(Si3N4, SiO2, Al2O3)です。 また、プロセスはマグネトロンスパッタとなっております。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大200mm...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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ダブルリングマグネトロンDRM400を搭載したPVD装置
独scia Systems GmbH(スキアシステムズ社)は、独Roth&Rau AG, MicroSystems GmbHのイオンビームトリミング(トリミング加工、IBF)装置IonScan装置のソフトウエア、ハードウエハを開発した主要なスタッフにて設立されました。スキアシステムズ社はユニークで且つ独自の最先端のイオンビームやプラズマ技術を開発し、研究開発装置から量産向け装置を取り扱っております...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイテック・システムズ
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