アリ溝式ステージ『セルフロックステージ　SLXシリーズ』

PR特許取得のロック機構で止めた位置から微動しないステージ。ロングストロー…

バリエーション豊富で多彩な組み合わせができる「アリ溝式ステージ」に、 ロングストロークでストッパー不要の『SLXシリーズ』が加わりました。 位置調整後にステージをストップする特許取得のセルフロック機構を搭載。 手動ストッパーやクランプ操作による微動・位置ずれの心配がありません。 高い位置決め精度での加工・検査が求められる用途や、 位置調整後に長時間確実に固定したい用途で活躍します...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミラック光学

電動マイクロステージ『MS1218-UC』

PRバックラッシュがなく、高分解能動作が可能！駆動OFF時も正確に位置を保…

『MS1218-UC』は、PCとUSBケーブルで接続するだけでPCから動作を 指示できる小型、軽量な電動ステージです。 外部電源は不要で、手軽に電動ステージを使用可能。 圧電振動アクチュエータ使用により、バックラッシュがなく、 高分解能動作が可能で、駆動OFF時も正確に位置を保持します。 また、スリムな形状で狭いスペースでの使用が可能です。 PC用操作ソフトも準備されています。 【特長】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミクロブ

X-LRMシリーズ精密電動ステージ

コンパクト・低床・高剛性・高精度リニアステージ

・ストローク長は25～200ｍｍ ・焼入れ鋼材と再循環ボールベアリングガイドによる、優れた剛性と熱安定性 ・ロータリーエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-E)では、モータエンコーダ位置フィードバックにより、スリップ/ストール検出機能と自動回復機能付き ・リニアエンコーダ内臓タイプ(X-LRM-DE)では、50 nmの分解能リニアエンコーダにより、スリップ/ストール検出機能と位置補正機能付き ...

メーカー・取り扱い企業： テクノロジーリンク株式会社

FPD製造装置ローダアンローダ及び搬送システム

適したレイアウトでのインラインシステム構築を提案！安定稼働に向けて確実…

当社のFPD搬送ロボットを使ったローダアンローダシステムを ご紹介いたします。 各工程では、カセットステージ、基板のアライメント、旋回ターン、 基板を天地反転するターンオーバー等のユニットが必要になり、 必要に応じた専用のユニットを含めてラインを構築。 液晶基板製造工場で、ARRAY、CF、CELL工程でインデクサや インラインシステムの納入実績があります。 【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本電産サンキョー株式会社

卓上顕微鏡ウェハローダー

卓上タイプでコンパクト！既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる装置をご…

当製品は、既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる卓上タイプの コンパクトな装置です。 顕微鏡のステージにウェハを供給、回収。 ウェハ入替えは、顕微鏡ステージを所定の位置へ移動させることで自動的に 行われます。 もし、顕微鏡に制御システムがある場合、それを上位として連携させることも できます。 【特長】 ■5・6インチウェハ対応 ■既存の顕微鏡に自動搬送機能を追加できる...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR112』

ウェハ表面のマクロ観察も可能！卓上型5、6インチウェハ対応顕微鏡ローダ…

『SYAR112』は、卓上型ロボットとアライナ、顕微鏡XYステージからなる 顕微鏡ローダ装置です。 所定のウェハをカセットから抜き取った後、アライナでセンタリングと ノッチ又はオリフラを位置決めし、顕微鏡XYステージに供給します。 また、観察ポイント、検査結果を記録収納可能です。 【特長】 ■顕微鏡XYステージではウェハ表面のマクロ観察可能 ■透過式マッピングセンサ搭載 ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

卓上型顕微鏡ローダー『SYAR110』

2、3、4インチまでのそりの大きなGaAsや各種ウェハ対応！顕微鏡ロー…

『SYAR110』は、卓上型ロボットと照明観察ユニット、 顕微鏡ステージからなる顕微鏡ローダ装置です。 照明観察ユニットにて、ウェハ表面のマクロ観察が可能。 ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAsを始め、 各種ウェハに対応します。 【特長】 ■ウエハをカセットから抜き取り、顕微鏡ステージに供給 ■ワークは2～4インチまでのそりの大きなGaAs、各種ウェハに対応 ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社