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セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac(ペリザック)
パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…
半導体製造装置におけるエンドエフェクター(搬送ロボットの手の部分)には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。吸着機構を備えた搬送ハンド(エンドエフェクターのこと)には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使...
メーカー・取り扱い企業: アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部
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