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PR環境対応型
これらのシリーズは、ISO16028、もしくはISO16028準拠で、脱着時の油漏れが無いノンスピルタイプで、環境対応型です。世界共通のISO規格ですので、海外でも使用可能です。特に、APM(M)シリーズは、残圧300barまで脱着が可能で、サイズは3/8(APM9)から1-1/2(APM30)まであり、ネジ形状はBSP、NPTで、流量は60〜600L/min程度(圧損4bar時)で、最高圧力は2...
メーカー・取り扱い企業: TOHTO株式会社 本社
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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オリゴマーの発生がない製品熱処理システム!
『ANL-Sシリーズ』は、成形品に水滴が付かないスチームタイプの 製品熱処理システムです。 加湿は室内加湿用水タンクの加熱蒸気循環方式を採用しており、湿度を保持します。 また、加熱蒸気使用のためアニール完了後の水きれ・乾燥が 非常にスピーディです。 【ラインアップ】 ■ANL-S-5 ■ANL-S-7 ■ANL-S-10 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社加藤理機製作所
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異種成形品を何種類も同時にアニール加工できる製品熱処理システム!
『ANLシリーズ』は、高性能ファンと特殊な室内設計により 温度分布精度に優れ成形品の熱処理に適したシステムです。 便利な棚段状になっており、異種成形品を何種類も同時に アニール加工可能です。 【ラインアップ】 ■ANL-60 ■ANL-80 ■ANL-100 ■ANL-120 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...【共通仕様】 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社加藤理機製作所
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