高純度ライン用チェックバルブ（逆止弁）『CMWシリーズ』

半導体製造装置の要求するクリーン度で対応。ステンレス316L製、高純度…

CMWはシリーズは、高純度アプリケーション用に開発された溶接型コンパクトチェックバルブ（逆止弁）です。完全溶接設計の為、流体を外部リーク無く確実に保持します。電解研磨品もご用意しております。 ＜特長＞ ・半導体製造装置の要求するクリーン度で対応 ・流体をリークなく確実に保持する完全溶接設計 ・最大許容使用圧力： 20MPa ・最大許容背圧： 20MPa ・使用温度範囲： -10～8...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

電動アクチュエータ KLM （リニアモータ）[THK公式］

コンパクトで高い剛性を実現　高精度位置決め、低速度リップルに対応

"THKの電動アクチュエータ リニアモータシリーズ KLM（コア付フラットタイプ）は、コンパクトで高剛性を実現し、スムーズな動きにより高精度位置決め、リニアモータによる高速・高加減速が可能です。タクトが厳しくコンパクトにしたいものの、推力が必要なウエハー検査装置の上部に採用されています。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、２D CAD、選定資料、...

メーカー・取り扱い企業： ＴＨＫ株式会社