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【デモ機貸し出し可能!】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…
自動レジストスピンコーターは、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし、次にベーク工程も自動で行います。 処理工程は、U字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。 本機の対象ワークは、2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ下さい。...【特徴】 ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター JASC-200型
対象ワーク:2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用!
JASC-200型は、カセットtoカセットの自動スピンコーターで、レジストをコートし次にベーク工程も自動で行います。処理工程はU字型に配置されローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬送は多間接ロボットを採用しています。本機の対象ワークは2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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