蒸気2流体洗浄モジュール『コアモジュール』※試験結果付き資料進呈

ハンディタイプ新登場！蒸気・液体をピンポイントで超音速噴射。2つの衝撃…

【基本構成】 ・蒸気発生装置 ・2流体ノズル 【資料の掲載内容(抜粋)】 ・キャビテーションとは ・蒸気2流体の特長 ・水のレジスト膜への浸透 ・半導体工程での処理例(白金残渣) ・太陽電池用シリコン基板の切削粉除去 ・...

メーカー・取り扱い企業： HUGパワー株式会社

事例紹介（切削粉除去）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

太陽電池用シリコン基板の切削粉除去の洗浄データ公開中　超音速噴射ノズル…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。 本ページでは、太陽電池用シリコン基板の切削粉を除去処理した際のデータ資料を掲載...

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動画で紹介【超音速スチーム洗浄装置】

超音速スチーム洗浄装置の応用例を動画でご紹介しております！

超音速蒸気2流体洗浄装置は、 超音速噴射ノズルから蒸気（気体）と水（液体）の2相流を超音速で噴射することで、 対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させその衝撃波で洗浄を行います。 応用用途として、以下のようなお引き合いを多くいただいております。 ＜応用例＞ ・塗装の前洗浄工程の簡素化 ・食品製造機器の洗浄における自動化、省人化 ・食器類の洗浄作業における工数削減 ・...

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蒸気洗浄装置『ASTE（アステ）』

金属汚染のない半導体用の洗浄装置！単式蒸気噴射音速ノズル搭載

『ASTE（アステ）』は、エッチング後のポリマ除去や、 ウエハ上の異物除去 （ブラシスクラバの置換え）が出来る、 金属汚染のない蒸気2流体洗浄装置です。 高価なアミン系剥離剤等の薬液を使わずにポリマと レジストを同時に除去できるので大幅なコスト低減が期待できます。 原料は「水」なので、環境にやさしい洗浄装置です。 【特長】 ■コスト低減 ■工程数削減 ■環境負荷低減 ...

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蒸気洗浄装置『VALIUS（バリウス）』

レジスト・ペースト除去ができる太陽電池用の洗浄装置！超高速処理が可能

『VALIUS（バリウス）』は、レジスト・ペースト除去が出来る、 多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。 高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、 コンパクトな設置面積（本体）を実現しています。 連続処理で500枚／時以上の超高速処理が可能。 原料は「水」なので、化学薬品の使用量を大幅に低減することが できる環境にやさしい装置です。 【特長】 ...

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蒸気洗浄装置『BEUGA（ビューガ）』

金リフトオフ工程で95％以上の回収率でコスト低減！LED用の洗浄装置

『BEUGA（ビューガ）』は、金リフトオフ、レジスト剥離ができる、 多連式超音速ノズル搭載の蒸気2流体洗浄装置です。 高価な薬液を必要としないため、コスト低減に繋がるほか、 金リフトオフ工程では95％以上の金回収率が可能です。 原料は「水」なので、化学薬品を削減できるため、 コスト低減、環境付加の軽減にも貢献します。 【特長】 ■コスト低減 ■金回収率向上 ■環境負荷...

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蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」

超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄！ランニングコ…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。 【特長】 ■ブラシ等の消耗品がなく、ランニングコストを大幅に低減 ■使用す...

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水蒸気2流体洗浄と超音波・高圧洗浄の異物除去率の比較公開中

超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し洗浄する水蒸気2流…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。 本ページでは、有機ELを対象に、当社製品と超音波＋高圧洗浄の異物除去率の比較の...

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事例紹介（レジスト膜浸透）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

水のレジスト膜への浸透処理を公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。 本ページでは、水のレジストへの浸透を処理前と処理後の比較資料を掲載しております...

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事例紹介（ビアホール洗浄）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

ビアホールの洗浄比較資料公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。 本ページでは、ビアホールの洗浄処理前と処理後の比較資料を掲載しております。 ...

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事例紹介（接触角測定）蒸気2流体洗浄ユニット　SSCシリーズ

ガラス表面の接触角測定の洗浄データ公開中　超音速噴射ノズルから蒸気と液…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。 本ページでは、ガラス表面の接触角測定を洗浄した際のデータ資料を掲載しております...

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事例紹介（白金残渣洗浄）蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」

半導体工程での処理例を紹介！　超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超…

蒸気2流体洗浄ユニット「SSCシリーズ」は超音速噴射ノズルから蒸気と液体の流体を超音速で噴射し、対象物の表面にマイクロキャビテーションを発生させ洗浄を行います。蒸気に液体を混合することで2流体を作り、洗浄力を大幅に向上。金属汚染や微小異物の発生を抑えるために特殊な材料に表面コートを施し、高純度蒸気を発生させます。 本ページでは、半導体工程（白金残渣）での洗浄前と洗浄後の比較資料を掲載しており...

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