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大電流/高電圧プロービングが可能!ウェハ両面(ダブルサイド)へのコンタ…
『PCP-102WS』は、ウェハ両面(ダブルサイド)へのコンタクトを目的とした 高精度プローバです。 当社独自のXY位置補正機能とプロファイリング機能を採用することで、 ウェハの反りに対しても効果的な位置補正が可能。 ウェハ裏面のドレイン側でケルビン接続を行い、そのドレインセンス位置と ウェハ表面のソースセンス位置とを合わせることで正確なRDS(on)(オン抵抗)の 測定をする...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社プラムファイブ
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