両面コンタクトプローバ『PCP-102WS』

大電流/高電圧プロービングが可能！ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタ…

『PCP-102WS』は、ウェハ両面（ダブルサイド）へのコンタクトを目的とした 高精度プローバです。 当社独自のXY位置補正機能とプロファイリング機能を採用することで、 ウェハの反りに対しても効果的な位置補正が可能。 ウェハ裏面のドレイン側でケルビン接続を行い、そのドレインセンス位置と ウェハ表面のソースセンス位置とを合わせることで正確なRDS（on)（オン抵抗）の 測定をする...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プラムファイブ