組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

従来の横型真空ポンプに比べ、省スペース化、低コスト化を実現

PR立型構造の為、従来の横型に比べ圧倒的な省スペース化。又、同じ動力であれ…

『TRVシリーズ』は、凝縮性ガスに強い真空ポンプとして独自に開発した汎用ドライ真空ポンプ（ルーツ真空ポンプ）です。 ガス流路が上部から下部へ流れるDown-Flowとなるように配置されているため、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下において容易に排出・回収することができます。 このためミストの流入やガスの凝縮液に対して極めて強靭なポンプです。 材質...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社宇野澤組鐵工所

連続コーチ「KOACH R 1050-F」（FERENA搭載）

クリーン空間を必要な分だけ広げることが可能！超高性能フィルタ搭載コーチ

『KOACH R 1050-F』は、横に並べることで、限りなくクリーン空間を横に広げることが可能な連続コーチです。 囲いがないにもかかわらず広い範囲の清浄空間を形成することができます。 清浄度はISO クラス1、全換...

メーカー・取り扱い企業： 関東化学株式会社 電子材料事業本部

フロアーコーチ「KOACH Ex-F」（FERENA搭載）

ガイドスクリーンを使用することで、より広い空間をスーパークリーン化！

【仕様】 ■吹出開口面寸法：W1,050 mm × H850 mm（1台） ■清浄空間：40 m 以内（3段 × 10列の場合）（開口面間距離） ■電源：3相 200 V　50 Hz/60 Hz ■定格消費電力：189～1,000 ...

メーカー・取り扱い企業： 関東化学株式会社 電子材料事業本部

スタンドコーチ「KOACH C 900-F」（FERENA搭載）

局所クリーンの決定版！超高性能フィルタ搭載オープンクリーンベンチ

mm × H1,625 mm ■吹出開口面寸法：W900 mm × H700 mm ■清浄空間：2,300 mm 以内（開口面間距離） ■重量：約93 kg/台 ■電源：単相 100 V　50 Hz/60 Hz ■定格消費電力：360～730 W/台 　※フィルタの圧力損失に伴って変動 ※製品の仕様及びデザインは改良等のため、予告なく変更することがあります。 ※詳しくはお気軽...

メーカー・取り扱い企業： 関東化学株式会社 電子材料事業本部

テーブルコーチ「KOACH T 500-F」（FERENA搭載）

卓上作業に最適なコンパクトタイプ！超高性能フィルタ搭載テーブルコーチ

『KOACH T 500-F』は、手軽に持ち運んで設置できるコンパクトなサイズで、テーブル上を清浄化するスーパークリーンゾーン生成装置です。 囲いがないにもかかわらず広い範囲の清浄空間を形成することができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 関東化学株式会社 電子材料事業本部

フロアーコーチ　KOACH F 1050-F（FERENA搭載）

積み木方式で臨機応変に対応が可能！超高性能フィルタ搭載フロアーコーチ

『KOACH F 1050-F』は、連続タイプ「KOACH」の技術を応用し、かつ送風機を背面に移動することにより、床からの全域をクリーン化できるフロアーコーチです。 複数台を組み合わせて対向させれば、小さいながらクリー...

メーカー・取り扱い企業： 関東化学株式会社 電子材料事業本部