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シンプル構造で低価格を実現!GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹…
当社が取り扱う『PECプロセス装置』をご紹介します。 光源・波長はUVA、UVCから選択でき、エッチング溶液加熱により 高速な深堀エッチングが可能。 タッチパネル入力でエッチングリンスをパラメータ設定できます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■10mm□小片チップからφ6インチウェハ ■GaN 低ダメージエッチングが可能 ■シンプル構造で低価格...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
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ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…
チャー プラズマアッシャー ■PIPI ■PDC210 ■PDC510 ■PDC610 ■YSP600U/YSP2KU ■YSP63FA ■YSP68W/YSP68WL ■YSP650W ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業: ヤマトマテリアル株式会社
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