薄膜塗工やシビアなプロセスに！高精密油圧式定量ポンプTPL

PR光学フィルム・セパレータなど各種機能性フィルムの薄膜塗工に！

精密ポンプのタクミナが提供する様々なニーズに応える課題解決型ポンプ「スムーズフローポンプ」 「TPLシリーズ」は再現精度±0.1％以下、脈動率±1％以下の連続一定流を実現。ダイヤフラムポンプの特性である脈動を抑止し、ナノ単位の精度が求められる先進的な技術分野で実力を発揮、高い精度が求められるシビアなプロセスで選ばれ続けています。 【主な特長】 ■再現精度±0.1％以下、脈動率±1％以下 精密薄...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タクミナ 本社

熱電対 ASM イプシロン(R)用

コナックスセミコンダクター社は、ASM Epsilon(R)向けの高品…

−ASM Epsilon(R) 150mm, 200mm, 300mmに対応 −ANSISpecial(JISクラス１相当）Rタイプ熱電対 −石英は半導体グレードのGE214を使用 −短納期 −全...

メーカー・取り扱い企業： ＩＢＰテクノロジー株式会社

『ASM Epsilon用温度センサー』

新コーティング技術で、センサ寿命3倍！最大45％のコストダウンを実現！

今回新たに、米国CONAX社が開発した新技術“EtchDefender”を採用し、 ウエハの異物付着の低減、失透速度、浸食速度のスロー化などにより、 従来のセンサーの最大3倍にまで寿命延ばすことが可能となりました！ “EtchDefender”は数年間にわたり、大学の研究機関、大手ウエハメーカーの 製造設備にて、検証を繰り返して達成した信頼性のある技術です。 この新しいコーティン...

メーカー・取り扱い企業： ＩＢＰテクノロジー株式会社