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開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…
エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 -パーティクルフリー、ショックフリー -シール材に合わせてシール力を調整可能 -低ショック...ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 開口サイズ: 50 ...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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200, 300, 450mm ウェーハ用半導体製造装置のロードロック…
-ベローズをアクチュエータ内部に配置することでプロセス側から保護 -PEEK材でできた差圧タブ -メンテナンスフリーのアクチュエータ -簡単なゲート交換 -低ショック -コンパクトなデザイン ...開口サイズ: 32 x 222mm to 100 x 500mm (1.26“ x 8.74“ to 3.94“ x 19.69“) アクチュエータ: 圧空作動式 複動シリンダー リミット...
メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社
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