【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

高熱伝導／耐摩耗工具鋼『FASTCOOL』

PR優れた熱伝導率で高速冷却。高い耐摩耗性も兼ね備えた高強度鋼材。在庫も豊…

『FASTCOOL』は熱間成形用に開発した、高速冷却工具鋼です。 54W/m・Kの非常に高い熱伝導率を実現しており、 熱処理によってHRC44～53程度の硬度になり、優れた物性を発揮します。 高い耐摩耗性で、ホットスタンピングや射出成形、 金型・インサート・工具の材料などに適した「FASTCOOL-50」、 強度、靭性、耐摩耗性、耐焼付性、耐溶損性などに優れ、 熱間加工用の工具、ア...

メーカー・取り扱い企業： 南海モルディ株式会社（旧：南海鋼材株式会社）

【CMP用テストウエハ】Ecu ブランケットウェハ

画像はCuブランケットウェハの例です！

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 画像はCuブランケットウェハの例です。 7KA、15KAで成膜した時のCross SEMのウ...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社

【パターンウェハ】CD 50nm STI Pattern

200mm 300mm にて対応可能！　対応膜種はご希望によりご相談く…

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 画像は、HDP、SiN on Si の例になります。 200mm 300mm にて対応可能で...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社

【CMP用テストウエハ】MIT STI CMP wafer

200mm 300mm にて対応可能！　対応膜種はご希望によりご相談く…

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 画像はHDP、SiN on Si の例です。 200mm 300mm にて対応可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社

【CMP用テストウエハ】3D ILD Pattern wafer

CMP研究・開発用途に大変有用！　高段差のパターンも用意あり

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 画像はHDP、SiN on Si の例です。 200mm 300mm にて対応可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社

【CMP用テストウエハ】MIT W pattern Wafer

国内マスプロダクションで製造した、デバイスグレートに近いパターンウェハ

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 国内マスプロダクションで製造した デバイスグレートに近いパターンウェハです。 均一性、埋込...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社

【パターンウェハ】MIT STI CMP wafer

200mm 300mm にて対応可能！　対応膜種はご希望によりご相談く…

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 画像はHDP、SiN on Si の例です。 200mm 300mm にて対応可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社

【CMP用テストウエハ】AMT-S3 MASK Pattern

研究用途におすすめ！　HDPをトップ層にしたパターンウェハ

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 AMTオリジナルのマスクで、 HDPをトップ層にしたパターンウェハです。 均一性、埋込...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社

【CMP用テストウエハ】CD 50nm STI Pattern

300mmウェハにて対応可能！　近年のデバイスのターゲットサイズに近い…

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 近年のデバイスのターゲットサイズに近い幅で パターンを作ることに成功いたしました。 3...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社

【パターンウェハ】3D ILD Pattern

CMP研究・開発用途に大変有用！　対応膜種はご希望によりご相談ください…

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 画像は、HDP、SiN on Si の例になります。 200mm、300mmにて対応可能です...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社

【テストウエハの基礎知識】テストウェハとは何か？

半導体の材料メーカーや装置メーカーに供給するテストウエハについてご案内…

ータ収集が必須です。 弊社では、次世代半導体開発の為のテストウェハをお客様の希望に沿う 『カスタムメイド』という形で製造し、販売いたしております。 テスト用ウェハの中でも特に、成膜、CMP、洗浄、エッチング、TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社

【テストウェハ】ブランケットウェハ （200mmウェハ）

成膜工程におけるテストウエハを、各企業様の状況に合わせてご提案＆製造致…

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 【対応可能膜種】 　Cu、Ta、TaN、Ti、TiN、Al-Cu、SiN、 　PE-TEO...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社

【テストウェハ】ブランケットウェハ（300mmウェハ）

成膜工程におけるテストウエハを、各企業様の状況に合わせてご提案＆製造致…

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 【対応可能膜種】 　Cu、Ta、TaN、Ti、TiN、Al-Cu、SiN、 　PE-TEO...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社

【パターンウェハ】MIT W pattern Wafer

国内マスプロダクションで製造した、デバイスグレートに近いパターンウェハ

アドバンスマテリアルズテクノロジーでは、 テスト用ウェハの中でも特に、成膜・CMP・洗浄・エッチング・TSVの 研究開発に必要な先端の技術を盛り込んだウェハを供給しています。 国内マスプロダクションで製造した デバイスグレートに近いパターンウェハです。 均一性、埋込...

メーカー・取り扱い企業： アドバンスマテリアルズテクノロジー株式会社