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ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』
伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(加熱/成膜)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける 金属膜、絶縁膜の形成に用いられる CVDやスパッタリング装置の熱源として最適 ○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを 用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を...
メーカー・取り扱い企業: ウシオ電機株式会社
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ウシオの光で出来ること『太陽電池製造用加熱光源』
ウシオ社の新エネルギー技術開発用光源 太陽電池製造用加熱光源の実用例のご紹介です 【特徴】 ○ハロゲンランプヒータによる「非接触による高速昇降温」は 焼成炉、CVD、スパッタリングなどの装置において標準熱源として採用 ○半導体市場で培った高精度な、熱処理性能、FPD市場において 長年実績を積んだ長尺ヒータは 各種太陽電池製造プロセスで即戦力として採用 ●その他機...
メーカー・取り扱い企業: ウシオ電機株式会社
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