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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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最高320℃に対応!各種警報回路や専用コントローラーを搭載。高精度な温…
【特長】 ■PID制御による高精度な温度制御が可能 ■160℃から320℃までニーズに応じて型式を選択OK ■CVD装置の温調、反応装置のジャケット温調、射出成形金型温調、 各種ロールの温度コントロールなどに活躍 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社レイケン 本社、南関東営業所、大阪支店、中部営業所、茨城工場、大阪工場
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