フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

気相成長株式会社　事業紹介

主に気相成長技術（CVD法）に関するケミカルを取り扱っています！

気相成長株式会社は、主にファインケミカルの研究開発、ファインケミカル及び その関連部品・関連装置の製作・販売、ファインケミカルに関するコンサルタント を行っている会社です。 当社は気相成長技術（CVD法）に関するケミカルを主軸に、米国、日本、中国、 台湾の4ヵ国で7件の特許を所有しています。 また、委託成膜(Contract CVD)も承りますので、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 気相成長株式会社